公开(公告)号：WO2007148779A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：PCT/JP2007/062574

申请日：2007-06-22

Applicant: ダイキン工業株式会社 ,  土屋 壮司 ,  東野 克彦 ,  坂本 泰浩 ,  野口 剛

Inventor： 土屋 壮司 ,  東野 克彦 ,  坂本 泰浩 ,  野口 剛

IPC: C09K3/10 ,  B32B9/00

CPC classification number: C09K3/1009 ,  Y10T428/31544

Abstract: 　本発明は、優れた耐プラズマ性、シール性、非固着性を有するシール材、該シール材を有するプラズマ処理装置用部品、および該シール材の製造方法を提供する。フルオロエラストマーシール材の表面に、無機系材料から形成されるコーティング膜を有し、かつ、パーフルオロトリ－ｎ－ブチルアミンに６０°Cで７０時間浸漬し、取り出し後、９０°Cで５時間、１２５°Cで５時間および２００°Cで１０時間乾燥させたときのシール材の重量減少率が、０．４重量％以下であるシール材である。

Abstract translation: 公开了：具有优异的等离子体电阻，密封性和非粘合性的密封材料; 包括所述密封材料的等离子体处理器部件; 以及密封材料的制造方法。 密封材料包括含氟弹性体密封材料和包含无机材料并且设置在含氟弹性体密封材料的表面上的涂膜，并且当密封材料浸入全氟三乙酸酯时，其显示重量减少率为0.4重量％ 正丁胺在60℃下除去70小时，并在90℃下干燥5小时，125℃干燥5小时，然后在200℃下干燥10小时。