公开(公告)号：WO2007123150A1

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：PCT/JP2007/058420

申请日：2007-04-18

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  竹腰 清 ,  渡辺 真二郎

Inventor： 竹腰 清 ,  渡辺 真二郎

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07314

Abstract: 【課題】プローブカードの同一領域の支持板において、従来よりも多数のプローブピンを含むようにガイド孔を形成し、プローブピンの位置精度及びそのガイド孔の位置精度と寸法精度を高く形成する。 【解決手段】支持板のガイド孔は、その水平断面形状が四角形であり、ガイド孔において対向する側面に各々複数の溝部を有する。溝部は対向して配置され、ガイド孔内の対向する溝部間の領域が挿入部を構成する。各挿入部にプローブピンが挿入されている。プローブピンを挿入する挿入部が一つのガイド孔に複数設けられているので、従来のガイド孔よりも多数のプローブピンを配置することができる。

Abstract translation: [问题]为了形成导孔，以便在探针卡的同一区域支撑板中比常规方法中容纳更多的探针，并提高探针位置精度和导孔位置精度和尺寸精度。 解决问题的手段支撑板导向孔具有矩形的水平截面。 多个槽布置在导向孔中的相对侧表面处。凹槽被布置成彼此相对，并且引导孔中的相对凹槽之间的区域形成插入部分。 在每个插入部分插入探针。 由于一个引导孔具有用于插入探针的多个插入部分，所以与传统的引导孔相比，可以布置更多的探针。