公开(公告)号：WO2008142804A1

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：PCT/JP2007/063598

申请日：2007-07-06

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝マテリアル株式会社 ,  今泉 辰弥 ,  星野 政則 ,  佐藤 英樹

Inventor： 今泉 辰弥 ,  星野 政則 ,  佐藤 英樹

IPC: H01J23/14 ,  C04B41/88 ,  H01J9/30

CPC classification number: C04B41/5138 ,  C04B41/009 ,  C04B41/88 ,  H01J23/12 ,  H01J25/50 ,  C04B35/10

Abstract: 　本発明はメタライズ層の接合強度を向上させたマグネトロン用セラミックス部品に関する。 当該セラミックス部品は、アルミナ焼結体からなるセラミックス本体部（１）と、セラミックス本体部の一部の表面上に設けられたＭｏ－Ｍｎメタライズ層（９、１０）とを有するマグネトロン用セラミックス部品において、セラミックス本体部は、Ｍｎを含む粒界相を有するアルミナ焼結体であり、セラミックス本体部とＭｏ－Ｍｎメタライズ層との間にＭｎリッチ相を具備する。

Abstract translation: 一种用于磁控管的陶瓷部件，其具有改进的粘合强度的金属层。 用于磁控管的陶瓷部件包括陶瓷主体部分（1），其包括氧化铝烧结体和通过金属化在陶瓷主体部分的一部分的表面上设置的Mo-Mn金属层（9和10），其中陶瓷主体部分 是具有含Mn晶界相的氧化铝烧结体，在陶瓷主体部和Mo-Mn金属层之间的界面具有富Mn相。