公开(公告)号：WO2004027889A1

公开(公告)日：2004-04-01

申请号：PCT/JP2003/011876

申请日：2003-09-18

申请人： ダイキン工業株式会社 ,  森田 正道 ,  大塚 英幸 ,  高原 淳 ,  山本 育男 ,  伊丹 康雄 ,  青山 博一

发明人： 森田 正道 ,  大塚 英幸 ,  高原 淳 ,  山本 育男 ,  伊丹 康雄 ,  青山 博一

IPC分类号： H01L51/00

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L51/0012 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926

摘要： 　本発明によれば、交互ライン状パターン表面上に、機能性化合物の層を有する異方性材料であって、交互ライン状パターン表面において、一方のラインが含フッ素化合物からなり、他方のラインが非フッ素化合物からなる異方性材料が得られる。特定の構造を有するフッ素化合物を表面処理剤として用いて作製したパターン表面をテンプレートとして用いると、機能性化合物溶液を塗布するプロセスにより、nm～μmスケールオーダーの機能性化合物の構造体が作製できる。少なくとも一つの領域が特定の構造を有するフッ素化合物で表面処理されたパターン表面をテンプレートとして用いることにより、機能性化合物の特性を向上させることができる。

摘要翻译： 具有交替线图案表面并在其上形成功能化合物层的各向异性材料，其中在交替线图案表面中，一种线包含氟化合物，另一种线包含非氟化合物。 在将具有特定结构的氟化合物作为表面处理剂制成的图案的表面在其中施加功能性化合物的溶液的方法中用作模板时， 可以制备尺寸为纳米至微米级的功能化合物。 当使用具有特定结构的氟化合物表面处理至少一个区域的图案的表面作为模板时，可以提高功能性化合物的性能。