公开(公告)号：WO0124228A3

公开(公告)日：2002-03-14

申请号：PCT/US0026355

申请日：2000-09-25

Applicant: INPUT OUTPUT INC

Inventor： YU LIANZHONG ,  GOLDBERG HOWARD D ,  YU DULI

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81C99/00 ,  C23F1/02 ,  G01P9/04 ,  G02B26/08 ,  G03F7/20 ,  B44C1/22 ,  G03F7/00 ,  H01L21/306

CPC classification number: B81C1/00142 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0315 ,  B81C1/00896 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/036 ,  G02B26/0816

Abstract: A micro machined structure includes one or more temporary bridges for temporarily coupling the micro machined structure to a support structure.

Abstract translation: 微加工结构包括用于将微加工结构临时耦合到支撑结构的一个或多个临时桥。