公开(公告)号：WO2015153980A9

公开(公告)日：2016-05-26

申请号：PCT/US2015024261

申请日：2015-04-03

Applicant: NORDSON CORP

Inventor： TINGAY JOHN ,  WALKER WILLIAM T ,  STEWART KATE

IPC: G01N23/083 ,  G01N23/02 ,  G01N23/04

CPC classification number: G01N23/04 ,  G01N2223/309 ,  G01N2223/6113 ,  G01N2223/6116 ,  G01N2223/6462 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6838 ,  H01L22/12

Abstract: An x-ray inspection system comprising: a cabinet (110), the cabinet (110) containing an x-ray source (100), a sample support (200) for supporting a sample to be inspected, and an x-ray detector (300); and an air mover (130) configured to force air into the cabinet (110) through an air inlet (132) in the cabinet (100) above the sample support (200), wherein the air mover (130) and cabinet (110) are configured to force air through the cabinet (110) from the air inlet (132) past the sample support (200) to an air outlet (150) in the cabinet (110) below the sample support (200). The cabinet (110) may be constructed to provide an x-ray shield. An x-ray system of this type can be used in a clean room environment to inspect items such as semiconductor wafers (20).

Abstract translation: 一种x射线检查系统，包括：机壳（110），所述机壳（110）包含x射线源（100），用于支撑待检查样品的样品支撑件（200）和x射线检测器 300）; 以及空气推动器（130），其构造成通过所述样品支撑件（200）上方的所述机壳（100）中的空气入口（132）将空气强制进入所述机壳（110），其中所述鼓风机（130）和机壳（110） 被配置成迫使来自空气入口（132）的机壳（110）经过样品支撑件（200）到样品支架（200）下方的机壳（110）中的空气出口（150）。 机柜（110）可以构造成提供x射线屏蔽。 这种类型的x射线系统可用于洁净室环境中以检查诸如半导体晶片（20）的物品。