Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (2, 62) zur Behandlung eines Drahts (22) aus leitfähigem Material, mit einer Plasmadüse (4) zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmastrahls (6), wobei innerhalb der Plasmadüse (4) ein Entladungsraum (10) mit einer Düsenöffnung (12) zum Auslass des Plasmastrahls (6) ausgebildet ist, wobei zwischen einer Einlassöffnung (16) der Plasmadüse (4) und der Düsenöffnung (12) ein Kanal (20) ausgebildet ist, durch den der zu behandelnde Draht (22) hindurchführbar ist und wobei in der Plasmadüse (4) ein den Kanal (20) umgebender Röhrchenabschnitt (30) aus einem Dielektrikum so angeordnet ist, dass der Kanal (20) gegenüber dem Entladungsraum (10) zumindest abschnittsweise elektrisch isoliert ist sowie ein entsprechendes Verfahren. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Behandlung eines Drahts aus leitfähigem Material, bei dem der zu behandelnde Draht (106, 204) durch einen Rohrabschnitt (104, 206) aus einem Dielektrikum geführt wird, bei dem eine an der Außenseite des Rohrabschnitts (104, 206) angeordnete erste Elektrode (108, 208) mit einer ersten hochfrequenten Hochspannung (HV, HV1) beaufschlagt wird und bei dem der Draht (106, 204) so beschaltet wird, dass zwischen der ersten Elektrode (108, 208) und dem Draht (106, 204) eine dielektrisch behinderte Entladung erfolgt sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Innenbehandlung, insbesondere zur Innenbeschichtung eines Rohres (2, 4, 6), bei dem innerhalb des zu behandelnden bzw. zu beschichtenden Rohres (2, 4, 6) ein Plasma (36, 72, 132) erzeugt wird und bei dem das Plasma (36, 72, 132) unter Verwendung eines durch das Rohr (2, 4, 6) bewegten Plasmaerzeugungsmoduls (12, 42, 62, 82, 112, 122, 162) erzeugt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Innenbehandlung, insbesondere zur Innenbeschichtung eines Rohres (202), bei dem innerhalb des Rohres (202) ein induktiv oder kapazitiv gekoppeltes Plasma (206) erzeugt wird und optional ein Precursor (38) derart mit dem Plasma (206) in Wechselwirkung gebracht wird, dass sich auf der Innenseite des Rohres (202) eine Beschichtung (8) bildet. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (10, 40, 60, 80, 110, 120, 140, 160) eingerichtet zur Durchführung eines dieser Verfahren oder aufweisend jeweilige Mittel zur Durchführung eines der dieser Verfahren sowie eine Vorrichtung (10, 40, 60, 80, 110, 120, 140, 160) zur Innenbehandlung, insbesondere zur Innenbeschichtung eines Rohres (2, 4, 6) mit einem Plasmaerzeugungsmodul (12, 42, 62, 82, 112, 22, 162), das dazu eingerichtet ist, durch ein Rohr (2, 4, 6) bewegt zu werden und innerhalb des Rohres (2, 4, 6) ein Plasma (36, 72, 132) zu erzeugen, und mit einem Transportmechanismus (16), der dazu eingerichtet ist, das Plasmaerzeugungsmodul (12, 42, 62, 82, 112, 122, 162) durch das Rohr (2, 30 4, 6) hindurch zu bewegen.