公开(公告)号：WO2022207601A1

公开(公告)日：2022-10-06

申请号：PCT/EP2022/058203

申请日：2022-03-29

Applicant: ROGERS GERMANY GMBH

Inventor： BRITTING, Stefan ,  MEYER, Andreas ,  TANG, Xinhe

IPC: H05K3/06 ,  C04B37/02 ,  H01L23/373 ,  H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  B32B17/061 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/127 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/348 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/368 ,  C04B2237/407 ,  C04B37/021 ,  C04B37/026 ,  H01L23/3735 ,  H05K1/0271 ,  H05K1/0306 ,  H05K2201/098

Abstract: Trägersubstrat (1), insbesondere Metall-Keramik-Substrat, umfassend eine Isolationsschicht (11) und eine Metallschicht (12), wobei die Metallschicht (12) in einer parallel zur Haupterstreckungsebene (HSE) verlaufenden Primärrichtung (P) zumindest bereichsweise mit einem Flankenver- lauf (2), insbesondere Ätzflankenverlauf, abschließt, wobei sich in Primärrichtung (P) gesehen der Flankenverlauf (2) von einer ersten Kante (15) an einer Oberseite (31) der Metallschicht (12), die der Isolationsschicht (11) abgewandt ist, bis zu einer zweiten Kante (16) an einer Unterseite (32) der Metallschicht (12), die der Isolationsschicht (11) zugewandt ist, erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass der Flankenverlauf (2) in Primärrichtung (P) gesehen min- destens einen ersten Abschnitt (A1) mit einem geradlinigen Verlauf und mindes- tens einen zweiten Abschnitt (A2) mit einem gekrümmten Verlauf aufweist.