发明授权
- 专利标题: 微结构的制造方法及其制造系统
- 专利标题(英): Method of manufacturing microstructure and manufacturing system for the same
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申请号: CN200510052804.7申请日: 2005-02-28
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公开(公告)号: CN100333992C公开(公告)日: 2007-08-29
- 发明人: 津野武志 , 浅野伸 , 后藤崇之 , 长谷川修 , 田原谕 , 山田高幸 , 木之内雅人 , 高桥睦也
- 申请人: 三菱重工业株式会社 , 富士施乐株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱重工业株式会社,富士施乐株式会社
- 当前专利权人: 三菱重工工作机械株式会社,富士施乐株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 谢丽娜; 顾红霞
- 优先权: 2004-111768 2004.04.06 JP
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00
摘要:
公开了一种具有高形状精度的微结构的制造方法及其制造系统。在具有预定定位精度和大行程的粗动工作台(51)上,设置有具有小行程和高于粗动工作台(51)定位精度的微动工作台(52)。首先,移动粗动工作台(51)至要求的位置。利用设置在激光长度测量机(64)上的镜子(55)和微动工作台(52),高精度地测量在微动工作台(52)上的薄膜元件(25)的当前位置。激光长度测量机(64)的测量值反馈到工作台控制装置(61)。通过误差校正单元(64)计算当前位置和目标位置之间的误差。因此,产生误差校正值。并且利用误差校正值移动微动工作台(52)到目标位置。从而校正粗动工作台(51)的误差。
公开/授权文献
- CN1680187A 微结构的制造方法及其制造系统 公开/授权日:2005-10-12