发明授权
- 专利标题: 压电控制的磁致动器
- 专利标题(英): Magnetic actuator under piezoelectric control
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申请号: CN200310119534.8申请日: 2003-11-28
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公开(公告)号: CN100336140C公开(公告)日: 2007-09-05
- 发明人: R·E·M·L·德威尔德特 , J·A·A·T·达姆斯
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰维尔德霍芬
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰维尔德霍芬
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 温大鹏; 章社杲
- 优先权: 02079992.0 2002.11.29 EP
- 主分类号: H01F7/06
- IPC分类号: H01F7/06 ; G03F7/20 ; H01L21/027 ; H01L21/68
摘要:
用于控制载荷上磁力的磁致动器,它包括分别具有第一、第二与第三位置的第一、第二与第三磁性件,此第一与第二磁性件相互相邻而沿第一方向分开一第一间隙,此第二与第三磁性件相互相邻而沿第二方向分开一第二间隙;上述磁力是由此第一、第二与第三磁性件于其各自的第一、第二与第三位置处的磁相互作用产生,其中此磁致动器包括连接到上述三个磁性件的至少两个之上的位移件,此位移件设置为通过使这三个磁性件至少之一从其相关位置上相对位移而改变这三个磁性件的磁相互作用。
公开/授权文献
- CN1505067A 压电控制的磁致动器 公开/授权日:2004-06-16