一种微结构制造系统，包括具有预定定位精度和大行程长度的粗动工作台，设置在粗动工作台上并具有比粗动工作台更高定位精度和小行程长度的微动工作台等，它们结合在一起构成设置在真空容器内的工作台装置；用于测量到设置在微动工作台上的镜子的距离的激光长度测量机，用于利用激光长度测量机的测量结果驱动微动工作台的工作台控制装置等，它们结合在一起构成工作台控制单元；以及用于保持与由工作台装置保持的被压接元件相对设置的压接目标元件并且压接和分离这些元件的压杆(44)，用于向压杆(44)施加压接力的压接驱动机构等，它们结合在一起构成压接机构单元。