发明授权

磺酸盐和光刻胶组合物
摘要:
本发明提供一种分子式(I)的磺酸盐:其中Q1,Q2,Q3,Q4和Q5各自独立地代表H、具有1-16个碳原子的烷基、具有1-16个碳原子的烷氧基、卤素、具有6-12个碳原子的芳基、具有7-12个碳原子的芳烷基、氰基、硫化物、羟基、硝基或分子式(I`)的基团-COO-X-Cy1(I`),其中X代表亚烷基,和该亚烷基中的至少一个-CH2-可被 -O-或 -S-取代且至少一个 -CH2-不被取代,和Cy1代表具有3-20个碳原子的酯环烃。
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