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公开(公告)号：CN1311459A
公开(公告)日：2001-09-05
申请号：CN01104058.0
申请日：2001-02-20
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/039 , G03F7/0045 , Y10S430/111
摘要： 一种化学放大型正光刻胶组合物具有与底物良好的附着性,以及良好的干蚀抗蚀性,适合用于利用ArF、KrF等的激发激光光刻平印,它含有树脂(X)和产酸剂(Y),其中树脂(X)本身不溶于或微溶于碱,但通过酸的作用溶于碱,其具有式(Ⅰ)表示的聚合单元,式(Ⅱ)表示的聚合单元,和式(Ⅲ)表示的聚合单元(其中如说明书所定义),和衍生于选自马来酸酐和衣康酸酐的不饱和二羧酸酐的聚合单元。
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公开(公告)号：CN100371826C
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN03155804.6
申请日：2003-08-22
申请人： 住友化学工业株式会社
CPC分类号： C07C309/58 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 本发明提供一种分子式(I)的磺酸盐：其中Q1，Q2，Q3，Q4和Q5各自独立地代表H、具有1-16个碳原子的烷基、具有1-16个碳原子的烷氧基、卤素、具有6-12个碳原子的芳基、具有7-12个碳原子的芳烷基、氰基、硫化物、羟基、硝基或分子式(I`)的基团-COO-X-Cy1(I`)，其中X代表亚烷基，和该亚烷基中的至少一个-CH2-可被 -O-或 -S-取代且至少一个 -CH2-不被取代，和Cy1代表具有3-20个碳原子的酯环烃。
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公开(公告)号：CN1209686C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN01102176.4
申请日：2001-01-22
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0392 , G03F7/0045 , G03F7/039 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 本发明公开了一种具有良好灵敏度和分辨率以及其它光刻胶性能特性的的化学放大型正光刻胶组合物，其含有树脂(X)和产酸剂(Y)，其中该树脂具有下式(I)所示的聚合单元、下式(II)所示的聚合单元(如说明书所定义)，衍生于选自马来酸酐和衣康酸酐的不饱和二羧酸酐的聚合单元，和下式(V)所示的聚合单元。
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公开(公告)号：CN1173232C
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN00133683.5
申请日：2000-12-01
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , H01L21/027 , C07C69/00
CPC分类号： G03F7/039 , G03F7/0045 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 一种化学放大型正光刻胶组合物提供了良好的灵敏度和分辨率，以组合物总重量为100%重量计，含有80-99.9%重量的树脂X，其本身不溶于或微溶于碱，但通过酸的作用溶于碱，它具有通过聚合脂环不饱和羧酸酯得到的聚合单元a，其中如式I所示的羧酸酯单元：其中R1为1-4个碳原子的烷基，R为可以被选自羟基和氧的基团任选取代的具有5-12个碳原子的脂环烃残基，R2为1-4个碳原子的烷基，或者R和R2与键合到R和R2的碳原子一起形成具有5-12个碳原子的环，与其环内具有可聚合的碳-碳双键的具有7-12个碳原子的脂环烃键合；和通过聚合马来酸酐得到的聚合单元b；和0.1-20%重量的产酸剂Y。
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公开(公告)号：CN1354392A
公开(公告)日：2002-06-19
申请号：CN01135041.5
申请日：2001-11-16
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0045 , Y10S430/111 , Y10S430/123 , Y10S430/124
摘要： 一种化学放大型正光刻胶组合物,适合用于利用ArF、KrF等的激发激光的平板印刷,并能提供良好的剖面形状,它含有具有被2－烷基－2－金刚烷基或1－金刚烷基－1－烷基烷基保护的碱溶性基团的树脂,其本身不溶于或微溶于碱,但通过酸的作用溶于碱;和上式(I)表示的锍盐产酸剂，其中Q1、Q2和Q3独立表示氢、羟基、具有1－6个碳原子的烷基、或具有1－6个碳原子的烷氧基;Q4表示可以具有环结构的全氟烷基。
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公开(公告)号：CN1268680A
公开(公告)日：2000-10-04
申请号：CN00103514.2
申请日：2000-03-24
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： C07C381/12 , G03F7/0045 , G03F7/039 , Y10S430/115 , Y10S430/122
摘要： 一种有良好分辨率的正光刻胶组合物,包括如式(Ⅰ)代表的脂肪族锍盐的酸发生剂:Q1代表烷基,Q2代表烷基或脂肪族烃的残基,m代表1到8的整数;至少一种鎓盐选自式(Ⅱa)表示的三苯基锍盐和式(Ⅱb)表示的二苯基碘鎓盐:Q3、Q4、Q5、Q6和Q7独立地代表氢、羟基、含1—6个碳原子的烷基,含1—6个碳原子的烷氧基,q和p代表4—8的整数;和(2)一种聚合单元有对酸不稳定的基团的树脂。
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公开(公告)号：CN1237719A
公开(公告)日：1999-12-08
申请号：CN99107757.1
申请日：1999-05-31
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/022
CPC分类号： G03F7/0226
摘要： 一种具有优良分辨率以及良好的抗性性能，例如，灵敏度，聚焦深度和截面图形的光刻胶正胶组合物，它含有一种酚醛清漆树脂，一种辐射敏感性醌重氮化合物和一种由下述式(Ⅰ)表示的噻吨酮化合物：其中，R1，R2R3，R4，R5，R6，R7和R8独立地表示氢，卤素，烷基，烷氧基，芳基，羧基或烷氧基羰基。
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公开(公告)号：CN100342282C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN02132225.2
申请日：2002-09-04
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C08F8/00 , C08F2800/10 , C08F2800/20 , C08F112/14 , C08F8/12 , C08F212/14
摘要： 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，包括酚醛清漆树脂、在碱性水溶液中本身不可溶或可溶性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的树脂，和酸生成剂，其中当酚醛清漆树脂通过凝胶渗透色谱(GPC)利用254nm UV检测器、以聚苯乙烯作标准物进行测试时，基于除了未反应单体之外的总图案面积计，分子量为1000或更小的组分的面积比为25%或更小。该化学放大型正性抗蚀剂组合物在不恶化基本性能例如灵敏度、分辨率等的情况下能够降低费用，并且由于驻波引起的不均匀性小，能够改善图案轮廓、特别是线边缘粗糙度。
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公开(公告)号：CN1321351C
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN02101863.4
申请日：2002-01-16
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/004
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0048 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 本发明提供了一种具有优良的灵敏度和分辨率，并且证明不生成浮渣的化学增强型正光刻胶组合物，该组合物包括具有衍生自羟基苯乙烯的聚合单元和衍生自丙烯酸2-乙基-2-金刚烷基酯或甲基丙烯酸2-乙基-2-金刚烷基酯的聚合单元的树脂，该树脂本身不溶或难溶于碱中，但在通过酸的作用使上述酸不稳定基团离解后变成碱可溶的；辐射敏感酸生成剂；和聚丙二醇。
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公开(公告)号：CN1256625C
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN03121330.8
申请日：2003-03-26
申请人： 住友化学工业株式会社
IPC分类号： G03F7/039
摘要： 一种正型化学放大型光阻组成物，其包括交联剂、酸产生剂与本身不溶或难溶于碱性水溶液，但具有在酸的作用下会裂解的保护基的树脂，其中此保护基在裂解后使其转变成可溶于碱性水溶液。此正型化学放大型光阻组成物可维持高敏感度与成膜率，又同时保有高分辨率。
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