Invention Grant
CN100376713C MgO蒸镀材料及其制造方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: MgO蒸镀材料及其制造方法
- Patent Title (English): MgO vapor deposition material and production method therefor
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Application No.: CN02827735.XApplication Date: 2002-11-29
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Publication No.: CN100376713CPublication Date: 2008-03-26
- Inventor: 樱井英章 , 丰口银二郎 , 黑光祥郎
- Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- Current Assignee: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 郭煜; 王景朝
- Priority: 367344/2001 2001.11.30 JP; 367345/2001 2001.11.30 JP; 367346/2001 2001.11.30 JP; 367347/2001 2001.11.30 JP; 335649/2002 2002.11.19 JP; 335650/2002 2002.11.19 JP; 335651/2002 2002.11.19 JP; 335652/2002 2002.11.19 JP
- International Application: PCT/JP2002/012541 2002.11.29
- International Announcement: WO2003/046249 JA 2003.06.05
- Date entered country: 2004-07-30
- Main IPC: C23C14/24
- IPC: C23C14/24 ; C04B35/00
Abstract:
MgO蒸镀材料，其中含有MgO纯度在99.0%或以上而且相对密度在90.0%或以上、硫S含量为0.01～50ppm、氯Cl含量为0.01～50ppm、氮N含量为0.01～200ppm、磷P含量为0.01～30ppm的多晶颗粒。在使用电子束蒸镀法将该材料蒸镀时，几乎不会发生喷溅，而且可以提高形成的MgO膜的膜特性。
Public/Granted literature
- CN1617946A MgO蒸镀材料及其制造方法 Public/Granted day:2005-05-18
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IPC分类:
