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    超净工作台及单晶硅用原料的制造方法
    1.
    发明授权
    超净工作台及单晶硅用原料的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN103341368B

    公开(公告)日：2016-04-13

    申请号：CN201310248647.1

    申请日：2008-09-02

    申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社

    发明人： 堺一弘 ,  宫田幸和

    IPC分类号： B01L1/00 ,  B01L1/04 ,  C01B33/037

    摘要： 本发明涉及超净工作台及单晶硅用原料的制造方法。本发明提供一种超净工作台，其具备承载多晶硅的操作台；具有相对于上述操作台的上方操作空间包围除了前面之外的三面的侧板和覆盖这些侧板上方的顶板的箱体；将上述洁净空气离子化，除去上述操作台上的静电的电离器，在上述箱体的上述顶板上形成有向上述电离器和上述操作台的上面提供洁净空气的供给孔，在上述箱体的上述侧板上形成有抽吸上述操作空间内的空气的抽吸孔。

    超净工作台及单晶硅用原料的制造方法
    2.
    发明公开
    超净工作台及单晶硅用原料的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN103341368A

    公开(公告)日：2013-10-09

    申请号：CN201310248647.1

    申请日：2008-09-02

    申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社

    发明人： 堺一弘 ,  宫田幸和

    IPC分类号： B01L1/00 ,  B01L1/04 ,  C01B33/037

    摘要： 本发明涉及超净工作台及单晶硅用原料的制造方法。本发明提供一种超净工作台，其具备承载多晶硅的操作台；具有相对于上述操作台的上方操作空间包围除了前面之外的三面的侧板和覆盖这些侧板上方的顶板的箱体；将上述洁净空气离子化，除去上述操作台上的静电的电离器，在上述箱体的上述顶板上形成有向上述电离器和上述操作台的上面提供洁净空气的供给孔，在上述箱体的上述侧板上形成有抽吸上述操作空间内的空气的抽吸孔。

    多结晶硅的硅籽晶杆组装体及其制造方法、多结晶硅制造装置和多结晶硅制造方法
    5.
    发明授权
    多结晶硅的硅籽晶杆组装体及其制造方法、多结晶硅制造装置和多结晶硅制造方法 有权

    公开(公告)号：CN101469447B

    公开(公告)日：2013-04-24

    申请号：CN200810189524.4

    申请日：2008-12-29

    申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社

    发明人： 手计昌之 ,  畠山直纪

    IPC分类号： C30B29/06 ,  C01B33/035 ,  C30B28/14

    CPC分类号： C23C16/02 ,  C01B33/035 ,  C23C16/24 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T117/10

    摘要： 本发明提供一种确保硅籽晶杆与连结部件的接触面积良好并且进行质量稳定的生产的、多结晶硅的硅籽晶杆组装体及其制造方法以及使用该硅籽晶杆组装体的多结晶硅制造装置和多结晶硅制造方法。在形成于硅籽晶杆(2)的顶端部(2B)和主体部分(2A)之间的阶梯部上形成有与硅籽晶杆(2)的延伸方向正交的支承面(2C)，在连结部件(3)上贯通该连结部件(3)地设置有用于使上述顶端部(2B)插入的贯通孔(4)，上述连结部件(3)中上述贯通孔(4)的一侧(3B)的开口端周缘形成为比另一侧(3A)的开口端周缘锐利，并且上述一侧的开口端周围的表面成为与上述贯通孔(4)的贯通方向正交的平坦的抵接面(3C)，上述顶端部(2B)以使上述抵接面(3C)与硅籽晶杆(2)的上述支承面(2C)抵接的方式插入到上述贯通孔(4)中。

    水泥熟料及其制造方法
    6.
    发明授权
    水泥熟料及其制造方法 失效

    公开(公告)号：CN101774770B

    公开(公告)日：2013-03-13

    申请号：CN201010002160.1

    申请日：2005-12-02

    申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社

    发明人： 朝仓悦郎 ,  下坂建一 ,  山下牧生 ,  小松隆一

    IPC分类号： C04B7/43

    CPC分类号： C04B7/421 ,  C04B7/38

    摘要： 本发明提供在不大大改变水泥的主要化学组成和矿物组成、且无预热器的涂敷问题或对水泥物性的不良影响的条件下，谋求烧成热量减少的水泥熟料及其制造方法。在该水泥熟料的制造方法中，在烧成工序之前向水泥原料和调合原料的至少1方中混入熔点高于水泥熟料液相的温度、且成为C3S的晶核的物质。作为所混入的物质，例如为耐火砖微粉、普通波特兰水泥熟料颗粒、早强波特兰水泥熟料微粉、早强波特兰水泥、生石灰微粉等。由此，在低温促进阿利特的生成。结果能够以小的烧成耗热率烧成高品质的熟料，而且不降低水泥的品质，有助于减少预热器的涂敷量、延长耐火砖的寿命。

    多晶硅制造装置中的聚合物钝化方法
    7.
    发明授权
    多晶硅制造装置中的聚合物钝化方法 有权

    公开(公告)号：CN101544371B

    公开(公告)日：2013-02-13

    申请号：CN200910127948.2

    申请日：2009-03-27

    申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社

    发明人： 远藤俊秀 ,  手计昌之 ,  石井敏由记 ,  坂口昌晃

    IPC分类号： C01B33/027 ,  C30B29/06

    CPC分类号： C01B33/035 ,  Y10T428/2822

    摘要： 本发明提供一种多晶硅制造装置中的聚合物钝化方法，该方法通过使热介质流通于用于多晶硅制造的反应炉的壁内流路来预先使壁成为加热状态，将水蒸气、加湿氮气等加湿气体供给到反应炉的内部，由此将附着于反应炉内表面的聚合物水解，然后将该附着物除去。对于与反应炉连接的排气管，也同样将管壁设成加热状态，并供给加湿气体，由此将聚合物水解而使其钝化。根据该方法，可提高聚合物钝化的作业性，并高效率地除去附着于反应炉内壁面的聚合物。