层叠型压电部件的制造方法及层叠型压电部件
摘要:
本发明在即使形成薄层状及多层结构或采用Ag含有率高的内部电极材料的情况下,也能够得到具备较高的压电d常数,且可抑制绝缘电阻劣化等可靠性下降的层叠型压电部件。由通式ABO3表示的PZT系钙钛矿型复合氧化物形成了压电陶瓷基体的层叠型压电部件的制造方法中,按A侧成分(Pb)的含有摩尔量比化学计量学组成减少0.5~5.0mol%,且B侧成分的平均价数比化学计量学组成的4价大的要求,混合陶瓷原料,合成上述陶瓷粉末原料,再加工处理上述压电陶瓷粉末原料制得层叠成形体,然后在氧浓度为5.0vol%以下(注:不含0vol%)的低氧化氛围气下,焙烧上述层叠成形体。
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