发明授权
CN100396812C 连接磁性靶和背衬板的方法以及磁性靶
失效 - 权利终止
- 专利标题： 连接磁性靶和背衬板的方法以及磁性靶
- 专利标题（英）： Method for connecting magnetic substance target to backing plate, and magnetic substance target
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申请号： CN02825748.0申请日： 2002-11-14
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公开(公告)号： CN100396812C公开(公告)日： 2008-06-25
- 发明人: 山越康广 , 藻垣贤一
- 申请人： 日矿金属株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 日矿金属株式会社
- 当前专利权人： 捷客斯金属株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 樊卫民; 杨青
- 优先权： 385666/2001 2001.12.19 JP
- 国际申请： PCT/JP2002/011863 2002.11.14
- 国际公布： WO2003/052161 JA 2003.06.26
- 进入国家日期： 2004-06-21
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34
摘要：
本发明提供一种将板厚度变化较小的磁性物质靶连接到背衬板的方法，其特征在于具有以下步骤：事先连接磁性物质靶和铝板，并保持平坦性，将连接到铝板的磁性物质靶连接到背衬板上，并保持平坦性，研磨除去铝板，从而可以保持磁性物质靶的平坦性，直到磁性物质靶通过一个相对简单的操作连接到背衬板上。
公开/授权文献
- CN1606633A 连接磁性靶和背衬板的方法以及磁性靶 公开/授权日：2005-04-13
IPC分类:
