微米级芯片尺寸封装散热结构
摘要:
本发明涉及一种微米级芯片尺寸封装散热结构,是应用在集成电路芯片或功率分立器件芯片,或圆片级芯片尺寸封装技术领域。包括芯片本体(1)、设置于芯片本体(1)硅基材正面的电路焊垫(2),植置于电路焊垫顶面的金属凸点(3),其特征在于:于芯片本体(1)硅基材背面植上金属层(4);于硅基材背面金属层(4)上制作金属凸块(5)。本发明的特点是改变传统外露基岛的封装方式,将芯片以倒装封装工艺,使裸芯片直接散热。因此具有较佳散热功能或导热功能。
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