发明授权
- 专利标题: 双极型器件
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申请号: CN200510097828.4申请日: 2005-08-30
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公开(公告)号: CN100407442C公开(公告)日: 2008-07-30
- 发明人: 杜雷塞蒂·齐达姆巴劳 , 格里高里·G·弗里曼 , 马尔汉·H·克哈特尔
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 格芯美国第二有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 张浩
- 优先权: 10/931,660 2004.09.01 US
- 主分类号: H01L29/72
- IPC分类号: H01L29/72 ; H01L21/331
摘要:
一种增加双极型器件内的电荷载流子迁移率的方法,包括以下步骤:在该器件中产生压缩应变,以增加该器件的固有基极中的空穴迁移率;在该器件中产生拉伸应变,以增加该器件的固有基极中的电子迁移率。通过靠近该器件的固有基极形成应力层来产生该压缩应变和拉伸应变。该应力层临近该器件的发射极结构、至少部分地埋入在该器件的基极层中。该应力层具有与该固有基极不同的晶格常数。另外公开了方法与装置。
公开/授权文献
- CN1763968A 双极型器件以及增加其中电荷载流子迁移率的方法 公开/授权日:2006-04-26
IPC分类: