发明授权

一种激光干涉测量装置
摘要:
本发明涉及一种干涉法测量目标的装置。一种激光干涉测量装置,它包括激光器、半反镜(2)、光程调整装置、光电探测器(7)、频移分析系统(8)和计算机,其特征在于;光程调整装置包括第一反光镜(12)、第二反光镜(13)、第三反光镜(14)、旋转台(15),第一反光镜(12)与第二反光镜(13)的反光面相对,第一反光镜(12)的反光面一端位于参考光路(3)的入射线上,第三反光镜(14)的反光面一端位于反射光线(19)的CB段上,第三反光镜(14)的反光面与反射光线(19)的CB段垂直;第一反光镜架、第二反光镜架、第三反光镜架分别与旋转台(15)固定连接。本发明具有结构简单、测量距离远的特点。
公开/授权文献
0/0