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公开(公告)号：CN118936612A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411152425.4
申请日：2024-08-21
申请人： 深圳大学
摘要： 本发明实施例提供了一种基于频率分集的外差干涉测振装置及方法，该测振装置通过使用频率调制组件将信号光调制成多个不同的频率，并将多个不同频率的激光进行合束，形成复合激光，该复合激光包括多个频率的激光，通过复合激光，多个频率的激光能够同时对被测物进行测量，从而获取被测物的振动信息，提高了测量效率和测量精度，并且，复合激光在照射被测物时，复合激光中各频率的激光会各自产生漫反射回光，由于散斑噪声的出现具有随机性，在同一时间，多个频率的激光在漫反射回光时不会同时出现散斑噪声，相比于现有技术的多个激光器，本实施例降低了散斑噪声的出现，有效避免干涉信号的信噪比降低。
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公开(公告)号：CN118838021A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410823536.7
申请日：2024-06-24
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本申请属于用于晶圆制造的辅助装置技术领域，尤其是涉及一种调节模块及装置。该调节模块包括支撑件、升降机构、平动机构以及摆动机构。升降机构用于支撑待调节件并能够带动待调节件沿Z向升降运动；平动机构，与升降机构相连并能够带动升降机构与待调节件一起沿Y向往复运动；摆动机构，设置于支撑件上，且摆动机构与平动机构相连并能够带动平动机构、升降机构以及待调节件一起相对支撑件摆动。待调节件在升降机构、平动机构以及摆动机构的作用下具备多个方向上的活动自由度，通过各调节模块中相应的机构进行配合驱动，即可实现调节待调节件的位置。
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公开(公告)号：CN118776471A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410749550.7
申请日：2024-06-12
申请人： 北京遥测技术研究所
摘要： 本发明提供一种基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量方法及装置，包括辅助光源，光连接的光源、光纤环形器，与辅助光源、光纤环形器均光连接的分光器，与分光器母端光连接的光束准直器，设置在光束准直器输出端的待测芯片，盛放待测芯片的三维微动平台和与光纤环形器另一端的测试装置；利用法‑珀干涉原理作为测量原理，通过光纤进行光信号的传输，通过加入1*2分光器引入红光，实现可见光辅助调节的功能，加快芯片的位置调节速度，实现对于透明芯片的厚度进行快速测量的目的。本发明可实现小型化，且成本较低、速度很快；使用者可以根据光束照射点位明确测点位置，同时可见光也为反射光进入准直器提供了可视化手段。
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公开(公告)号：CN118758217A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410892706.7
申请日：2024-07-04
申请人： 中国科学院高能物理研究所
摘要： 本发明公开了一种基于半波片的衍射光栅外差干涉滚转角测量方法及装置。本装置包括设置在激光光源出射光路的非偏振分光组合棱镜，两平行出射光路上分别设置声光调制器，声光调制器出射光路设置第一非偏振分光棱镜，透射光路上分别设置第一四分之一波片、第一二分之一波片、第一透射光栅、第一组合反射镜、第二非偏振分光棱镜、第三非偏振分光棱镜；在反射光路上分别设置第一直角棱镜、第二四分之一波片、第二二分之一波片、第二透射光栅、第二组合反射镜、第二直角棱镜、第三直角棱镜、光空间交换器，第一非偏振分光棱镜出射光路分别设置第一起偏器、第一光电探测器、第二起偏器、第二光电探测器，两光电探测器的探测信号由相位计比相、解算。
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公开(公告)号：CN118729931A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410961227.6
申请日：2024-07-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 基于等效电源原理的外差干涉仪光电时延测量系统及其测量方法，涉及外差激光干涉仪光电时延测量技术领域。针对外差激光干涉仪光电转化时延测量的过程中，现有测量方案与干涉仪的波长、带宽不适配，实施过程复杂，因耦合测试装置延迟而测量精度低等问题，基于光敏二极管的等效电路和等效电源原理，设计能够等效光电探测器时延特性的板卡，并通过测量其相移得到光电探测器内的电延迟；随后叠加光敏二极管的上升时间，获得光电探测器的时间延迟。本发明具备实施便捷、无需昂贵参考器件、适用范围广、无额外延迟耦合而测量准确的优点，尤其在设备研发与器件校准等方面具有突出优势。
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公开(公告)号：CN118706018A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410872510.1
申请日：2024-07-01
申请人： 国网智能电网研究院有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于光纤法珀干涉的大量程应变传感器及其测量方法，所述包括：串联结构，法珀干涉腔，端头法兰。串联结构单元设置在保护壳的内部，用于应变传感器中应变量程的放大；法珀干涉腔用于实现应变的测量，包括：第一反射点、传输光纤、第二反射点和反射镜载体，第一反射点为传输光纤的端面，与第二反射点相对设置，第二反射点为反射镜载体的反射面，所述传输光纤外面设置有光纤保护管，并与光谱解调仪相连接；第一端头法兰和第二端头法兰设置于保护壳的两侧，合围成应变传感器。本发明利用低刚度弹性串联结构实现对大量程应变的测量，串联结构的个数越多，传感器的量程越大，可以将应变传感器的量程提高到万微应变数量级。
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公开(公告)号：CN114509003B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202210128016.5
申请日：2017-03-31
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01N23/20 , G01B11/26 , H01J37/26 , H01J37/04 , H01J37/244 , A61B6/00
摘要： 本发明涉及非接触角测量设备和方法。一种非接触角测量设备包括物质波和能量(MWE)粒子源和检测器。MWE粒子源用于生成玻色子或费米子粒子。检测器用于检测由1)与第一平面的缝、凸块或孔对应的玻色子或费米子粒子和2)与被第二平面反射的玻色子或费米子粒子相关联的物质波的波前分割生成的干涉图案的多个峰或谷，其中，所述干涉图案的所述多个峰或谷的角位置、所述第一平面与所述第二平面的接合区域之间的第一距离、以及所述检测器和所述缝、凸块或孔之间的第二距离用于决定所述第一平面和所述第二平面之间的角度。
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公开(公告)号：CN118623757A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410743420.2
申请日：2024-06-11
申请人： 中国测试技术研究院
摘要： 本发明涉及激光干涉测量技术领域，公开了基于激光干涉仪同步测量的大长度动态校准装置，包括底座，所述底座顶部设置有支撑框，所述底座顶部与所述支撑框底部均固定连接有固定块，所述固定块一侧均固定连接有对接块一，所述固定块一侧均固定连接有对接块二，所述对接块二内部均转动连接有转柱，所述转柱外壁均固定连接有连接杆，一个所述连接杆一端转动连接有另一个所述连接杆，所述连接杆内部均转动连接有滑块，所述对接块一之间设置有限位块。通过对接块一、连接杆和限位块等部件之间的配合，实现了高效的双层减震缓冲效果，以此通过多级缓冲结构将震动能量逐层吸收和消散，显著降低了震动对设备内部结构和性能的影响。
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公开(公告)号：CN118623756A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410641803.9
申请日：2024-05-23
申请人： 深圳市邦正精密机械股份有限公司
IPC分类号： G01B9/02 , G06F18/241 , G06F18/214
摘要： 本发明涉及轴运动线性测量领域，尤其涉及一种基于激光干涉仪的轴运动线性测量数据处理方法，包括：S1、基于激光干涉仪采集轴运动实时多向数据；S2、根据所述轴运动实时多向数据进行分类补偿处理得到轴运动规范运动轨迹；S3、利用所述轴运动实时多向数据与轴运动规范运动轨迹得到轴运动线性测量数据处理结果，通过激光干涉仪采集轴运动轨迹数据，并利用设备自动运行配合完成数据采集并对采集的实时数据进行再次分类筛选，在进行数据轨迹补偿后，确保轴运动精度达到预定要求。
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