发明授权
- 专利标题： 表面声波器件及其制造方法
- 专利标题（英）： Surface acoustic wave device and its mfg. method
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申请号： CN200410034211.3申请日： 2004-03-30
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公开(公告)号： CN100433551C公开(公告)日： 2008-11-12
- 发明人: 川内治 , 伊形理 , 上田政则 , 藁科卓
- 申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 富士通媒体部品株式会社,富士通株式会社
- 当前专利权人： 太阳诱电株式会社
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉
- 优先权： 096577/2003 2003.03.31 JP
- 主分类号： H03H3/08
- IPC分类号： H03H3/08 ; H03H9/25 ; H01L23/14
摘要：
一种表面声波器件，包括：具有第一表面的压电基板，在该第一表面上设置多个梳状电极、与其相连的多个第一焊盘、和第一膜。该第一膜被设置为包围该梳状电极。底基板具有第二表面，在该第二表面上设置与该第一焊盘接合的多个第二焊盘和与该第一膜接合的第二膜。通过表面活化处理而接合的该第一和第二膜限定了其中气密地密封有该梳状电极以及该第一和第二焊盘的腔。
公开/授权文献
- CN1534869A 表面声波器件及其制造方法 公开/授权日：2004-10-06
