Invention Grant
- Patent Title: 探针组装体
- Patent Title (English): Assembled probe body
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Application No.: CN200510073131.3Application Date: 2005-05-31
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Publication No.: CN100439925CPublication Date: 2008-12-03
- Inventor: 长谷川义荣 , 久我智昭 , 齐藤裕树 , 安田贵生 , 出羽晴匡
- Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇
- Priority: 2004－303770 2004.10.19 JP; 2005－030700 2005.02.07 JP
- Main IPC: G01R1/073
- IPC: G01R1/073 ; G02F1/13
Abstract:
本发明的探针组装体，尽管被按压在被检查体电极上的针尖区域具有在过驱动作用下容易挠曲的形状，但是可以防止槽的破损。探针组装体借助沿探针排列方向延伸的导杆，使探针支承在支承体上，将探针的前端侧的针尖区域配置在带有槽的杆的槽内，把沿导杆长度方向延伸的弹性体配置在探针与支承体或带有槽的杆之间。这样，探针借助弹性体被按压在导杆上，所以，消除了探针相对于导杆的游隙，可防止探针的倾斜。
Public/Granted literature
- CN1763550A 探针组装体 Public/Granted day:2006-04-26
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