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公开(公告)号:CN101430344A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200810175226.X
申请日:2008-11-04
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针组合体及检查装置。该探针组合体减少叶片式探针的偏差,从而提高该叶片式探针与各电极的接触稳定性。该探针组合体支承叶片式探针而使叶片式探针与被检查体的电极电接触。其中,该探针组合体包括块片、定位销、前端侧接触负荷承受部和基端侧接触负荷承受部;上述块片一体地支承多个上述探针;上述定位销分别贯穿于多个上述探针而对各探针进行一体地支承并定位;上述前端侧接触负荷承受部与上述探针的上述被检查体侧、即前端侧嵌合来承受该探针前端侧的触头与上述被检查体的电极接触时的接触负荷;上述基端侧接触负荷承受部与上述探针的基端侧嵌合来承受该探针基端侧的触头与探针基座侧的电极接触时的接触负荷。
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公开(公告)号:CN100439925C
公开(公告)日:2008-12-03
申请号:CN200510073131.3
申请日:2005-05-31
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明的探针组装体,尽管被按压在被检查体电极上的针尖区域具有在过驱动作用下容易挠曲的形状,但是可以防止槽的破损。探针组装体借助沿探针排列方向延伸的导杆,使探针支承在支承体上,将探针的前端侧的针尖区域配置在带有槽的杆的槽内,把沿导杆长度方向延伸的弹性体配置在探针与支承体或带有槽的杆之间。这样,探针借助弹性体被按压在导杆上,所以,消除了探针相对于导杆的游隙,可防止探针的倾斜。
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公开(公告)号:CN110967620A
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:CN201910922675.4
申请日:2019-09-27
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针卡保持件,能够避免对探针卡上表面的多个电子部件的干扰,能够使用于保持探针卡的操作性更简单且稳定地保持探针卡。在本发明中,板状的框架部在板状构件的中央部具有与探针卡相同程度的开口部,所述探针卡保持件具备:多个卡下表面保持部,其在框架部的开口部的周缘部一边施力一边保持探针卡的下表面;以及多个卡上表面支承部,其设置在框架部的下表面并对探针卡的上表面进行支承,各卡下表面保持部具有:L字构件,其具有基部和下表面支承部;旋钮部,其与基部的顶端部连结;以及施力构件,其设置在旋钮部与框架部的上表面之间,相对于框架部下表面对下表面支承部向上施力。
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公开(公告)号:CN102081110B
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201010566098.9
申请日:2010-11-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体,该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括:第1部位,其朝下;以及第2部位,其朝前;上述探针支架和上述探针中的另一者包括:第3部位,其朝上,并能够与上述第1部位抵接;以及第4部位,其朝后,并能够与上述第2部位抵接。
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公开(公告)号:CN1763550A
公开(公告)日:2006-04-26
申请号:CN200510073131.3
申请日:2005-05-31
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明的探针组装体,尽管被按压在被检查体电极上的针尖区域具有在过驱动作用下容易挠曲的形状,但是可以防止槽的破损。探针组装体借助沿探针排列方向延伸的导杆,使探针支承在支承体上,将探针的前端侧的针尖区域配置在带有槽的杆的槽内,把沿导杆长度方向延伸的弹性体配置在探针与支承体或带有槽的杆之间。这样,探针借助弹性体被按压在导杆上,所以,消除了探针相对于导杆的游隙,可防止探针的倾斜。
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公开(公告)号:CN110967620B
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN201910922675.4
申请日:2019-09-27
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针卡保持件,能够避免对探针卡上表面的多个电子部件的干扰,能够使用于保持探针卡的操作性更简单且稳定地保持探针卡。在本发明中,板状的框架部在板状构件的中央部具有与探针卡相同程度的开口部,所述探针卡保持件具备:多个卡下表面保持部,其在框架部的开口部的周缘部一边施力一边保持探针卡的下表面;以及多个卡上表面支承部,其设置在框架部的下表面并对探针卡的上表面进行支承,各卡下表面保持部具有:L字构件,其具有基部和下表面支承部;旋钮部,其与基部的顶端部连结;以及施力构件,其设置在旋钮部与框架部的上表面之间,相对于框架部下表面对下表面支承部向上施力。
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公开(公告)号:CN101430344B
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN200810175226.X
申请日:2008-11-04
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针组合体及检查装置。该探针组合体减少叶片式探针的偏差,从而提高该叶片式探针与各电极的接触稳定性。该探针组合体支承叶片式探针而使叶片式探针与被检查体的电极电接触。其中,该探针组合体包括块片、定位销、前端侧接触负荷承受部和基端侧接触负荷承受部;上述块片一体地支承多个上述探针;上述定位销分别贯穿于多个上述探针而对各探针进行一体地支承并定位;上述前端侧接触负荷承受部与上述探针的上述被检查体侧、即前端侧嵌合来承受该探针前端侧的触头与上述被检查体的电极接触时的接触负荷;上述基端侧接触负荷承受部与上述探针的基端侧嵌合来承受该探针基端侧的触头与探针基座侧的电极接触时的接触负荷。
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公开(公告)号:CN102081110A
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN201010566098.9
申请日:2010-11-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体,该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括:第1部位,其朝下;以及第2部位,其朝前;上述探针支架和上述探针中的另一者包括:第3部位,其朝上,并能够与上述第1部位抵接;以及第4部位,其朝后,并能够与上述第2部位抵接。
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公开(公告)号:CN102628879A
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN201210012902.8
申请日:2012-01-16
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明提供探测装置及其制造方法。其能够防止探测装置的接触电极相对于被检查体的电极发生位置错位。探测装置包括:布线板,其具有挠性;支承体,其用于支承该布线板;间隔维持构件,其被安装于布线板。上述布线板包括:多条布线,其设于该布线板的一个面;多个接触电极,其被设于该布线。上述间隔维持构件与上述布线板相比具有较低的热膨胀系数及较高的刚性,上述间隔维持构件被安装于上述布线板,用于将上述多条布线相互的间隔维持成上述布线板发生了膨胀后的状态。
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公开(公告)号:CN101294984B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200810093555.X
申请日:2008-04-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针装置及检查装置,使薄膜探针的各触头与被检查体的电极确实地接触。该探针装置包括:固定于主体框架侧的探针基座,支承薄膜探针并使其与被检查体的电极进行电接触的探针块,在上述薄膜探针的各触头与被检查体的电极接触的状态下、以均匀的压力对该薄膜探针进行加压的加压机构;上述加压机构包括顶端加压部,该顶端加压部直接与上述薄膜探针接触,在该薄膜探针的各触头与上述被检查体电极接触的状态下,对该薄膜探针进行加压;上述顶端加压部由对上述薄膜探针进行加压的加压板、使利用该加压板施加的压力变均匀的弹性体、设置于上述薄膜探针的上述触头一侧且与上述弹性体互相结合使施加到上述各触头上的压力变均匀的支承薄膜构成。
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