本发明属于超导材料领域。现有方法制备YBCO薄膜临界电流密度等性能不高，不能彻底去除CuO杂质相等问题。本发明装置包括超声源、雾化室、沉积室和加热系统，雾化室(5)倒扣在超声源(14)的水槽(6)之上，通过超声震动硝酸盐溶液(13)被雾化，沉积室下部接喷嘴(10)，上部为尾气出口(7)，其内上部设样品托(1)，下部为沉积区，外部设感应加热线圈(8)，特征在于：在沉积室(9)内，样品托的正下方放置金属感应筒(3)，其直径大于或等于样品托的直径，金属感应筒上部接近样品托，下部放置在沉积室底部的支撑托(4)上。本发明解决了基底的温度波动过大问题，提高了效率及薄膜的临界电流密度，增加Y、Ba盐利用率，解决了CuO杂质问题。