发明授权
CN100467662C 具有电弧处理能力的高峰值功率等离子体脉冲电源
失效 - 权利终止
- 专利标题： 具有电弧处理能力的高峰值功率等离子体脉冲电源
- 专利标题（英）： High peak power plasma pulsed supply with arc handling capacity
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申请号： CN03823015.1申请日： 2003-09-23
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公开(公告)号： CN100467662C公开(公告)日： 2009-03-11
- 发明人: 戴维·J·克里斯蒂
- 申请人： 先进能源工业公司
- 申请人地址： 美国科罗拉多州
- 专利权人： 先进能源工业公司
- 当前专利权人： 先进能源工业公司
- 当前专利权人地址： 美国科罗拉多州
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 韩宏
- 优先权： 10/254,158 2002.09.25 US
- 国际申请： PCT/US2003/030211 2003.09.23
- 国际公布： WO2004/029322 EN 2004.04.08
- 进入国家日期： 2005-03-25
- 主分类号： C23C14/00
- IPC分类号： C23C14/00 ; C23C14/32 ; C25B9/00 ; C25B11/00 ; C25B13/00
摘要：
本发明提供了一种新的磁控溅射装置，通常包括一个脉冲电源，该脉冲电源能够提供的峰值功率为0.1兆瓦特到数兆瓦特，峰值功率密度大于1kW/cm2。该电源有一个脉冲电路，该脉冲电路包括一个储能电容和一个通过开关装置串联的电感，检测到电弧现象时，该开关装置将脉冲电路与等离子体断开，并将电感能量循环回到储能电容。储能电容和串联电感提供对等离子体的阻抗匹配，限制有电弧时电流的上升率和峰值幅度，对到等离子体的电压脉冲进行整形。
公开/授权文献
- CN1688737A 具有电弧处理能力的高峰值功率等离子体脉冲电源 公开/授权日：2005-10-26
IPC分类:
