压力传感器和压力控制装置以及压力式流量控制装置的自动零点修正装置
摘要:
本发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正,能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说,作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器,将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出,并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构,在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值,对压力传感器的动作条件进行判定,当所述传感器输出电压大于设定值时,将压力传感器的时效零点漂移消除。
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