多阴极脉冲弧等离子体源装置
摘要:
多阴极脉冲弧等离子体源装置,它涉及一种脉冲等离子体产生装置。针对现有脉冲阴极弧等离子体源,存在易短路的问题及采用在真空室上安装多个阴极弧等离子体源,存在设备投资大和采用破坏真空的方法,存在工件强化层性能差的问题。本发明的推进杆(14)装在阴极外套(2)内并与阴极(4)相连接,装在阴极(4)上的触发极(6)与阴极(4)之间装有绝缘瓷套(7),公共弹簧触发杆装置(20)的一端与相对应的触发极(6)相接触,推进杆(14)上装有螺旋传动的从动齿轮(13),移动杆(15)的下端装在阴极外套(2)内,移动杆(15)的下端装有主动齿轮(12),阳极(5)位于阴极4的正下方,阳极(5)的下端装有不锈钢弯管总成(10)。本发明具有稳定工作时间长、可在不破坏真空的条件下实现多个阴极的任意切换的优点。
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