发明授权
CN100490052C 多阴极脉冲弧等离子体源装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 多阴极脉冲弧等离子体源装置
- 专利标题(英): Multiple cathode pulse arc plasma source device
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申请号: CN200610010244.3申请日: 2006-06-30
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公开(公告)号: CN100490052C公开(公告)日: 2009-05-20
- 发明人: 王浪平 , 王小峰 , 王宇航 , 汤宝寅
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 岳泉清
- 主分类号: H01J37/08
- IPC分类号: H01J37/08 ; H01J37/04 ; H05G1/00
摘要:
多阴极脉冲弧等离子体源装置,它涉及一种脉冲等离子体产生装置。针对现有脉冲阴极弧等离子体源,存在易短路的问题及采用在真空室上安装多个阴极弧等离子体源,存在设备投资大和采用破坏真空的方法,存在工件强化层性能差的问题。本发明的推进杆(14)装在阴极外套(2)内并与阴极(4)相连接,装在阴极(4)上的触发极(6)与阴极(4)之间装有绝缘瓷套(7),公共弹簧触发杆装置(20)的一端与相对应的触发极(6)相接触,推进杆(14)上装有螺旋传动的从动齿轮(13),移动杆(15)的下端装在阴极外套(2)内,移动杆(15)的下端装有主动齿轮(12),阳极(5)位于阴极4的正下方,阳极(5)的下端装有不锈钢弯管总成(10)。本发明具有稳定工作时间长、可在不破坏真空的条件下实现多个阴极的任意切换的优点。
公开/授权文献
- CN1901136A 多阴极脉冲弧等离子体源装置 公开/授权日:2007-01-24