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公开(公告)号：CN115029669A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210638878.2
申请日：2022-06-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种采用液态金属高功率脉冲磁控溅射提高沉积效率的方法，它涉及一种提高磁控溅射沉积效率的方法。本发明要解决现有磁控溅射沉积效率低的问题。方法：一、将溅射靶材放入靶座中，调整靶座与磁控靶冷却底座之间存在间隙；二、通过高功率脉冲磁控电源形成高功率脉冲磁控溅射放电，直至靶材表面熔化；三、溅射。本发明用于采用液态金属高功率脉冲磁控溅射提高沉积效率的方法。
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公开(公告)号：CN104057086A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410328041.3
申请日：2014-07-10
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 钛铝金属-六方氮化硼陶瓷导电阴极材料的制备方法，它涉及一种阴极材料的制备方法。本发明为了解决现有采用陶瓷粉末制备的阴极导电性差的技术问题。本方法如下：将陶瓷相与金属相混合，倒入模具中，对模具进行加热处理，压制成形，得到金属陶瓷复合坯料，随空气冷却后，用锻压机将金属陶瓷复合坯料从模具中取出，空冷至室温，然后放入真空钎焊炉中，再进行车加工至直径为43mm的料坯，将坯料再次放入模具中，在200T锻压机上，保压20min，即得钛铝金属-六方氮化硼陶瓷导电阴极材料。本发明的组分配比合理、工艺简单、操作方便。本发明属于阴极材料的制备领域。
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公开(公告)号：CN100412228C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200610010136.6
申请日：2006-06-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 铝或铝合金基体表面离子注入与沉积复合强化处理方法，它涉及一种金属材料表面离子注入与沉积复合强化处理方法。它解决了类金刚石碳膜与铝或铝合金基体间残余应力大、结合力和承载能力差，DLC在高速重载条件下耐磨损性能低，易从铝或铝合金基体上剥落的问题。合成方法按以下步骤进行：(一)铝或铝合金超声清洗；(二)铝或铝合金氩离子溅射清洗；(三)钛离子注入；(四)PIIID法沉积Ti；(五)PIIID法沉积TiN；(六)PIIID法沉积Ti(CN)；(七)PIIID法沉积TiC；(八)合成类金刚石碳膜，即得到表面有多层梯度膜的铝或铝合金；步骤(二)至(八)在真空室内进行。本发明中多层梯度膜上的DLC的磨损寿命比相同厚度的单层DLC提高10倍以上，摩擦系数低于0.1。
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公开(公告)号：CN115029669B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202210638878.2
申请日：2022-06-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种采用液态金属高功率脉冲磁控溅射提高沉积效率的方法，它涉及一种提高磁控溅射沉积效率的方法。本发明要解决现有磁控溅射沉积效率低的问题。方法：一、将溅射靶材放入靶座中，调整靶座与磁控靶冷却底座之间存在间隙；二、通过高功率脉冲磁控电源形成高功率脉冲磁控溅射放电，直至靶材表面熔化；三、溅射。本发明用于采用液态金属高功率脉冲磁控溅射提高沉积效率的方法。
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公开(公告)号：CN116377414A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211666152.6
申请日：2022-12-23
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/26 , C23C16/505
摘要： 一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法，它涉及一种实现零件表面超光滑的方法。本发明要解决传统减材超光滑方法耗时长，且现有DLC沉积技术未实现粗糙度由纳米级降低至亚纳米级的问题。方法：将待处理的零件放入真空室中并抽真空，然后通入乙炔气体，控制真空室内气压，然后通过射频辉光放电在真空室内部产生乙炔等离子体，设置射频功率，并在待处理的零件上施加脉冲电压，在零件表面进行等离子体增强化学气相沉积得到DLC薄膜。本发明用于通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑。
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公开(公告)号：CN109930106B
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201910379626.0
申请日：2019-05-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种具有高耐磨损能力的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层的制备方法，涉及一种TiAlSiN涂层的制备方法。本发明是要解决现有的TiAlSiN涂层的耐磨性差的技术问题。本发明提出的TiAlSi/TiAlSiN多层交替涂层的制备方法，使用TiAlSi合金阴极靶材，通过改变通入的氮气来实现涂层成分的改变，从而制备多层交替涂层，提高涂层的工业应用性。由于TiAlSi合金的硬度较低，TiAlSiN涂层硬度较高，使用该种方法制备得到的软硬交替涂层，可以很好地缓解涂层应力，改善涂层塑韧性，提高涂层的耐磨性，对于提高刀具涂层的使用寿命具有重大意义。
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公开(公告)号：CN105290406B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510762221.7
申请日：2015-11-10
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种自蔓延方法制备NiAl系金属间化合物复合自润滑涂层的方法。本发明属于堆焊技术领域，尤其涉及一种制备NiAl系金属间化合物复合自润滑涂层的方法。本发明的目的是要解决现有方法制备的自润滑涂层耐磨时间短、工艺复杂、成本高以及使用温度有限的问题。方法：一、按摩尔比1:1压制Ni‑Al压坯；二、按摩尔比3:1压制3Ni‑Al‑MoS2压坯；三、按由上至下为3Ni‑Al‑MoS2压坯、Ni‑Al压坯和金属基体叠放好，然后点燃Ni‑Al压坯，点燃同时加压，燃烧完成后泄压，得到NiAl系金属间化合物复合自润滑涂层。本发明制得的涂层具有明显的润滑效果，且制备涂层过程比较快速、效率高，且节省能源、绿色环保。
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公开(公告)号：CN104057086B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410328041.3
申请日：2014-07-10
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 钛铝金属-六方氮化硼陶瓷导电阴极材料的制备方法，它涉及一种阴极材料的制备方法。本发明为了解决现有采用陶瓷粉末制备的阴极导电性差的技术问题。本方法如下：将陶瓷相与金属相混合，倒入模具中，对模具进行加热处理，压制成形，得到金属陶瓷复合坯料，随空气冷却后，用锻压机将金属陶瓷复合坯料从模具中取出，空冷至室温，然后放入真空钎焊炉中，再进行车加工至直径为43mm的料坯，将坯料再次放入模具中，在200T锻压机上，保压20min，即得钛铝金属-六方氮化硼陶瓷导电阴极材料。本发明的组分配比合理、工艺简单、操作方便。本发明属于阴极材料的制备领域。
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公开(公告)号：CN100490052C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200610010244.3
申请日：2006-06-30
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 多阴极脉冲弧等离子体源装置，它涉及一种脉冲等离子体产生装置。针对现有脉冲阴极弧等离子体源，存在易短路的问题及采用在真空室上安装多个阴极弧等离子体源，存在设备投资大和采用破坏真空的方法，存在工件强化层性能差的问题。本发明的推进杆(14)装在阴极外套(2)内并与阴极(4)相连接，装在阴极(4)上的触发极(6)与阴极(4)之间装有绝缘瓷套(7)，公共弹簧触发杆装置(20)的一端与相对应的触发极(6)相接触，推进杆(14)上装有螺旋传动的从动齿轮(13)，移动杆(15)的下端装在阴极外套(2)内，移动杆(15)的下端装有主动齿轮(12)，阳极(5)位于阴极4的正下方，阳极(5)的下端装有不锈钢弯管总成(10)。本发明具有稳定工作时间长、可在不破坏真空的条件下实现多个阴极的任意切换的优点。
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