本发明涉及一种高化学纯度的金刚石微粉及其提纯方法。所述高纯金刚石微粉表面吸附的微量金属杂质总量不高于80μg/g，单种金属杂质含量不高于5μg/g，NH4+含量不高于10μg/g，各种形态的硅的总量不高于30μg/g，Cl-、SO42-、PO43-、NO3-等阴离子含量不高于50μg/g，单种阴离子含量不高于10μg/g。所述高纯金刚石微粉是采用硝酸、高氯酸、氢氟酸对静压合成或者爆轰合成的金刚石微粉进行湿法化学处理，再用高纯水洗涤净化，然后进行干燥制造而成。所述高纯金刚石微粉制造诸如单晶硅片、集成电路板、计算机硬盘盘片等高纯净度产品的研磨、抛光等领域有着广泛的应用前景。