- 专利标题: 工件的截断方法和装置、划线和截断方法、以及带截断功能的划线装置
- 专利标题(英): Method and device for breaking work, method for scribing and breaking work, and scribing device with breaking function
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申请号: CN200580045971.7申请日: 2005-12-27
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公开(公告)号: CN100546004C公开(公告)日: 2009-09-30
- 发明人: 中泽东治 , 下土敬由 , 星野京延 , 三户雅德 , 羽生明夫 , 河野贵哉 , 宍户善明
- 申请人: THK株式会社 , 株式会社贝尔德克斯
- 申请人地址: 日本国东京都
- 专利权人: THK株式会社,株式会社贝尔德克斯
- 当前专利权人: THK株式会社,
- 当前专利权人地址: 日本国东京都
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李贵亮
- 优先权: 000554/2005 2005.01.05 JP; 146551/2005 2005.05.19 JP; 373460/2005 2005.12.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2005/023953 2005.12.27
- 国际公布: WO2006/073098 JA 2006.07.13
- 进入国家日期: 2007-07-05
- 主分类号: H01L21/301
- IPC分类号: H01L21/301 ; C03B33/033 ; C03B33/02
摘要:
本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括:工件粘合工序,将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上;薄片拉伸工序,拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9);以及工件截断工序,在拉伸薄片(9)的状态下,使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下,工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开,因而被截断的工件(5)的摩擦减少,能够防止在背面发生碎裂。并且,通过向工件(5)施加拉伸力,拉伸力辅助工件的截断,因此能够以更小的力截断工件(5)。
公开/授权文献
- CN101099228A 工件的截断方法和装置、划线和截断方法、以及带截断功能的划线装置 公开/授权日:2008-01-02
IPC分类: