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公开(公告)号：CN100546004C
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200580045971.7
申请日：2005-12-27
IPC分类号： H01L21/301 , C03B33/033 , C03B33/02
摘要： 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括：工件粘合工序，将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上；薄片拉伸工序，拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9)；以及工件截断工序，在拉伸薄片(9)的状态下，使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下，工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开，因而被截断的工件(5)的摩擦减少，能够防止在背面发生碎裂。并且，通过向工件(5)施加拉伸力，拉伸力辅助工件的截断，因此能够以更小的力截断工件(5)。
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公开(公告)号：CN101562127A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910132710.9
申请日：2009-04-14
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/301 , B28D5/00
摘要： 本发明涉及划线装置以及多轴划线装置。本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备：轴部件(1)，其具有磁铁(5)；电枢(2)，其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8)；划线工具(4)，其设置于轴部件(1)的前端，用于在薄板状的工件(W)上刻上划线；移动机构(21)，其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流，由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时，进一步在电枢(2)的线圈中流过电流，由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下，从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。
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公开(公告)号：CN101099228A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200580045971.7
申请日：2005-12-27
IPC分类号： H01L21/301 , C03B33/033 , C03B33/02
摘要： 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括：工件粘合工序，将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上；薄片拉伸工序，拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9)；以及工件截断工序，在拉伸薄片(9)的状态下，使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下，工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开，因而被截断的工件(5)的摩擦减少，能够防止在背面发生碎裂。并且，通过向工件(5)施加拉伸力，拉伸力辅助工件的截断，因此能够以更小的力截断工件(5)。
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公开(公告)号：CN101146657A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200680009613.5
申请日：2006-03-20
IPC分类号： B28D5/00 , C03B33/027
CPC分类号： C03B33/027
摘要： 本发明提供一种划线装置，在工件上刻上划线的划线装置中，将粗动机构和微动机构巧妙地配合，从而能够在零点位置准确地停止刀具。本发明的划线装置具备：可平行于工件表面移动的基座(3)；相对于基座(3)上升下降的移动台(4)；在下端设置用于在工件上刻上划线的刀具(2)、且与移动台(4)一起上升下降的头部(6)；引导移动台(4)上升下降的第一直动导轨(8)、(9)；引导头部(6)上升下降的第二直动导轨(8)、(10)。而且，在移动台(4)及头部(6)的下降中，即使刀具(2)接触工件(1)而使头部(6)的下降停止，也能够容许移动台(4)稍微下降。
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公开(公告)号：CN101522383A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200780037170.5
申请日：2007-09-28
IPC分类号： B28D5/00 , B28D1/24 , C03B33/027
摘要： 本发明提供一种划线装置，其即使在划线装置上设有旋转机构(摇头机构)的情况下，也能够使振动器的振动不衰减地向刀具传递。划线装置具备使刀具(11)振动的划线头(12)、使划线头(12)沿工件着(17)的表面移动的移动机构(13)。划线头(12)具有能够抵接于工件(17)的表面的刀具(11)、使刀具(11)沿与工件(17)的表面交叉的方向振动的振动器(19)、与振动器(19)的振动方向(L)的端部紧贴且将振动器(19)的振动向刀具(11)传递的振动传递部(22)。振动器(19)、振动传递部(22)及刀具(11)能够以与振动器(19)的振动方向(L)平行的轴线为中心一起旋转。
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公开(公告)号：CN101417857A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810168928.5
申请日：2008-09-27
申请人： THK株式会社
IPC分类号： C03B33/02
摘要： 本发明提供一种划线装置及划线方法，其可在工件表面形成如计划好的曲线那样的划线。该划线装置具备：刀轮(11)，其在工件(17)的表面刻设划线；支架(31)，其保持刀轮(11)，使刀轮(11)能够绕其回转中心线回转；移动机构，其使刀轮(11)能够在工件(17)的表面滚动，从而使刀轮(11)相对于工件(17)相对移动；回转机构，其使刀轮(11)以及支架(31)绕与工件(17)的表面正交的垂直线(L2)回转；控制装置，其控制刀轮(11)绕垂直线(L2)的回转角度。刀轮(11)和工件(17)的接触点位于垂直线(L2)上。
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公开(公告)号：CN101562127B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200910132710.9
申请日：2009-04-14
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/301 , B28D5/00
摘要： 本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备：轴部件(1)，其具有磁铁(5)；电枢(2)，其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8)；划线工具(4)，其设置于轴部件(1)的前端，用于在薄板状的工件(W)上刻上划线；移动机构(21)，其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流，由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时，进一步在电枢(2)的线圈中流过电流，由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下，从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。
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公开(公告)号：CN101663246A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200880010136.3
申请日：2008-02-29
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
CPC分类号： C03B33/033 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , C03B33/03 , C03B33/04
摘要： 本发明提供一种减少工件的表面损伤、且能够获得深穿透的划线装置以及方法。本发明的划线装置具有：工作台(1)，所述工作台(1)将工件(W)的夹着要刻划线(L)的预定的部分的一侧的至少一部分固定，且使工件(W)的另一侧处于浮在空中的悬臂状态；相对移动机构(3、6)，所述相对移动机构(3、6)将刀具(10)与处于浮在空中的状态下的要刻划线(L)的预定的部分抵接，沿着要刻划线的预定的部分使刀具(10)相对于工件(W)相对移动，从而在工件(W)上刻上划线(L)。抑制用于使垂直裂缝生长所需要的力的矢量(在工件(W)的表面内与划线正交的方向的力)的力通过解除工件(W)的另一侧的固定而不发挥作用。因此，垂直裂缝易于生长，且水平裂缝的生长也能够受到抑制。
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公开(公告)号：CN101522383B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN200780037170.5
申请日：2007-09-28
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
IPC分类号： B28D5/00 , B28D1/24 , C03B33/027
摘要： 本发明提供一种划线装置，其即使在划线装置上设有旋转机构(摇头机构)的情况下，也能够使振动器的振动不衰减地向刀具传递。划线装置具备使刀具(11)振动的划线头(12)、使划线头(12)沿工件着(17)的表面移动的移动机构(13)。划线头(12)具有能够抵接于工件(17)的表面的刀具(11)、使刀具(11)沿与工件(17)的表面交叉的方向振动的振动器(19)、与振动器(19)的振动方向(L)的端部紧贴且将振动器(19)的振动向刀具(11)传递的振动传递部(22)。振动器(19)、振动传递部(22)及刀具(11)能够以与振动器(19)的振动方向(L)平行的轴线为中心一起旋转。
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公开(公告)号：CN101663246B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200880010136.3
申请日：2008-02-29
申请人： THK株式会社 , THK英特克斯股份有限公司
CPC分类号： C03B33/033 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , C03B33/03 , C03B33/04
摘要： 本发明提供一种减少工件的表面损伤、且能够获得深穿透的划线装置以及方法。本发明的划线装置具有：工作台(1)，所述工作台(1)将工件(W)的夹着要刻划线(L)的预定的部分的一侧的至少一部分固定，且使工件(W)的另一侧处于浮在空中的悬臂状态；相对移动机构(3、6)，所述相对移动机构(3、6)将刀具(10)与处于浮在空中的状态下的要刻划线(L)的预定的部分抵接，沿着要刻划线的预定的部分使刀具(10)相对于工件(W)相对移动，从而在工件(W)上刻上划线(L)。抑制用于使垂直裂缝生长所需要的力的矢量(在工件(W)的表面内与划线正交的方向的力)的力通过解除工件(W)的另一侧的固定而不发挥作用。因此，垂直裂缝易于生长，且水平裂缝的生长也能够受到抑制。
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