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制造场发射器件的方法
摘要:
本发明提供一种制造场发射器件的方法。在该方法中,发射体使用浮脱工艺形成,隔离层形成在用于对发射体构图的牺牲层和发射体材料之间。该隔离层防止牺牲层与发射体材料起反应,以有助于浮脱工艺。因此,可以获得均匀发射具有高亮度的光的场发射器件。
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