- 专利标题: 场致发射型电子枪及使用了该电子枪的电子束装置
- 专利标题(英): Field emission electron gun and electron beam apparatus using the same
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申请号: CN200610139236.9申请日: 2006-09-20
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公开(公告)号: CN100585785C公开(公告)日: 2010-01-27
- 发明人: 藤枝正 , 日高贵志夫 , 林原光男
- 申请人: 株式会社日立高新技术
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人: 株式会社日立高新技术
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 熊志诚
- 优先权: 2005-273051 2005.09.21 JP
- 主分类号: H01J37/073
- IPC分类号: H01J37/073 ; H01J37/26
摘要:
本发明提供一种具有不会破坏纤维状碳物质前端部,可去除其前端部存在的非晶碳的机构的场致发射型电子枪及其运转方法。为解决本发明的课题的机构的场致发射型电子枪,其包括:由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成的场致发射型阴极;使电子场致发射的引出装置;以及使电子加速的加速装置;该场致发射型电子枪具备:加热该场致发射型阴极的机构以及对该场致发射型阴极施加不使电子进行场致发射电的极性的电压的机构。
公开/授权文献
- CN1937165A 场致发射型电子枪及使用了该电子枪的电子束装置 公开/授权日:2007-03-28