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公开(公告)号：CN100585785C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200610139236.9
申请日：2006-09-20
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/073 , H01J37/28 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/30 , Y10S977/743 , Y10S977/745
摘要： 本发明提供一种具有不会破坏纤维状碳物质前端部，可去除其前端部存在的非晶碳的机构的场致发射型电子枪及其运转方法。为解决本发明的课题的机构的场致发射型电子枪，其包括：由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成的场致发射型阴极；使电子场致发射的引出装置；以及使电子加速的加速装置；该场致发射型电子枪具备：加热该场致发射型阴极的机构以及对该场致发射型阴极施加不使电子进行场致发射电的极性的电压的机构。
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公开(公告)号：CN100565772C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200610171433.9
申请日：2006-12-27
申请人： 株式会社日立高新技术
摘要： 本发明提供的电子显微镜能提高电子显微镜的电子源的电场强度并使所取得的观察图像清晰。其具备：具有碳纳米管的电子射出阴极：和场致电子发射的引出装置，其特征在于，使用在前端部具有大体圆锥形状的锐角部的碳纳米管。此外的特征在于，使用具有将具有锐角部的碳纳米管在比相变温度低温侧及高温侧静置而进行热处理的工序的制造方法。此外的特征在于，该碳纳米管中含有原子0.1～5%的硼、氮、磷、硫中至少一种，使其拉曼分光强度的IG/ID比(IG：与石墨构造的碳的伸缩运动对应的拉曼散射强度，ID：与晶格错乱对应的拉曼散射强度)为0.75以上。通过提高石墨构造的比例，可减小电子射线的能幅。
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公开(公告)号：CN1992142A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200610171433.9
申请日：2006-12-27
申请人： 株式会社日立高新技术
摘要： 本发明提供的电子显微镜能提高电子显微镜的电子源的电场强度并使所取得的观察图像清晰。其具备：具有碳纳米管的电子射出阴极：和场致电子发射的引出装置，其特征在于，使用在前端部具有大体圆锥形状的锐角部的碳纳米管。此外的特征在于，使用具有将具有锐角部的碳纳米管在比相变温度低温侧及高温侧静置而进行热处理的工序的制造方法。此外的特征在于，该碳纳米管中含有原子0.1～5％的硼、氮、磷、硫中至少一种，使其拉曼分光强度的IG/ID比(IG：与石墨构造的碳的伸缩运动对应的拉曼散射强度，ID：与晶格错乱对应的拉曼散射强度)为0.75以上。通过提高石墨构造的比例，可减小电子射线的能幅。
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公开(公告)号：CN1937165A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610139236.9
申请日：2006-09-20
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/073 , H01J37/28 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/30 , Y10S977/743 , Y10S977/745
摘要： 本发明提供一种具有不会破坏纤维状碳物质前端部，可去除其前端部存在的非晶碳的机构的场致发射型电子枪及其运转方法。为解决本发明的课题的机构的场致发射型电子枪，其包括：由单一的纤维状碳物质和支撑其的导电性基体材料构成的场致发射型阴极；使电子场致发射的引出装置；以及使电子加速的加速装置；该场致发射型电子枪具备：加热该场致发射型阴极的机构以及对该场致发射型阴极施加不使电子进行场致发射电的极性的电压的机构。
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