具有高灵敏度的光电型探测器
摘要:
本发明涉及具有高灵敏度的光电型探测器,包括:由硅衬底和在硅衬底上的光响应材料层做成的芯片,所述的光响应层为外延生长在硅衬底上的掺杂钛酸钡薄膜层;第一电极设置在掺杂钛酸钡薄膜上,第二电极设置在与空气接触的硅衬底面上,两根电极引线的一端分别与第一电极和第二电极连接,电极引线的另一端是信号输出端,电阻的两端分别和两根电极引线的信号输出端连接。该探测器均为光生伏特型光电探测器,当光照射后直接产生电压信号,不需要任何外加辅助的电源和电子电路。其响应波段从紫外到远红外,激光脉冲产生光生伏特脉冲的前沿为~1ns,半宽度~2ns。
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