发明授权
CN100593110C 具有高灵敏度的光电型探测器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 具有高灵敏度的光电型探测器
- 专利标题(英): Photoelectric detector with high sensitivity
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申请号: CN200510071810.7申请日: 2005-05-24
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公开(公告)号: CN100593110C公开(公告)日: 2010-03-03
- 发明人: 黄延红 , 吕惠宾 , 赵昆 , 何萌 , 金奎娟 , 陈正豪 , 周岳亮 , 杨国桢
- 申请人: 中国科学院物理研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南三街8号
- 专利权人: 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南三街8号
- 代理机构: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司
- 代理商 高存秀
- 主分类号: G01J1/42
- IPC分类号: G01J1/42 ; G01J9/00 ; G01J11/00
摘要:
本发明涉及具有高灵敏度的光电型探测器,包括:由硅衬底和在硅衬底上的光响应材料层做成的芯片,所述的光响应层为外延生长在硅衬底上的掺杂钛酸钡薄膜层;第一电极设置在掺杂钛酸钡薄膜上,第二电极设置在与空气接触的硅衬底面上,两根电极引线的一端分别与第一电极和第二电极连接,电极引线的另一端是信号输出端,电阻的两端分别和两根电极引线的信号输出端连接。该探测器均为光生伏特型光电探测器,当光照射后直接产生电压信号,不需要任何外加辅助的电源和电子电路。其响应波段从紫外到远红外,激光脉冲产生光生伏特脉冲的前沿为~1ns,半宽度~2ns。
公开/授权文献
- CN1869611A 具有高灵敏度的光电型探测器 公开/授权日:2006-11-29