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ZnO:Bi光电薄膜及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种ZnO:Bi光电薄膜及其制备方法,它以分析纯Bi2O3粉末作为掺杂原料,纯度为99.95%的纳米氧化锌为主体材料组成,Bi2O3的掺入量为总重量的1-5%,配料经360-720分钟球磨混合、在30-60MPa的压强下压制3-15分钟成型,在空气中1200-1400℃下常压、保温烧结60-360分钟,制备得ZnO:Bi陶瓷靶材,在本底真空度为8.0×10-5Pa、充纯氩后的气体压强为1-3Pa的条件下,经射频磁控溅射制膜,再在真空度≤0.1Pa的真空环境中退火热处理制成,表达式为ZnO:Bi,各组分原料用量重量比为ZnO 95-99%,Bi2O31-5%。这种光电薄膜具有良好的光电性能,电阻率达9.0×10-4Ω·cm,可见光透过率达85%以上,在波长小于370nm的紫外波段透过率表现为截止状态,具有良好的紫外隐身效果,同时所采的原料纯度低,且工艺简单、成本较低。
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