发明授权
CN100595319C ZnO:Bi光电薄膜及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: ZnO:Bi光电薄膜及其制备方法
- 专利标题(英): ZnO:Bi photoemissive thin film and preparation thereof
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申请号: CN200810073409.0申请日: 2008-01-07
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公开(公告)号: CN100595319C公开(公告)日: 2010-03-24
- 发明人: 江民红 , 刘心宇
- 申请人: 桂林电子科技大学
- 申请人地址: 广西壮族自治区桂林市金鸡路1号桂林电子科技大学
- 专利权人: 桂林电子科技大学
- 当前专利权人: 桂林电子科技大学
- 当前专利权人地址: 广西壮族自治区桂林市金鸡路1号桂林电子科技大学
- 代理机构: 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司
- 代理商 孙伊滨
- 主分类号: C23C14/08
- IPC分类号: C23C14/08 ; C23C14/35 ; H01B5/14 ; G02B1/10
摘要:
本发明公开了一种ZnO:Bi光电薄膜及其制备方法,它以分析纯Bi2O3粉末作为掺杂原料,纯度为99.95%的纳米氧化锌为主体材料组成,Bi2O3的掺入量为总重量的1-5%,配料经360-720分钟球磨混合、在30-60MPa的压强下压制3-15分钟成型,在空气中1200-1400℃下常压、保温烧结60-360分钟,制备得ZnO:Bi陶瓷靶材,在本底真空度为8.0×10-5Pa、充纯氩后的气体压强为1-3Pa的条件下,经射频磁控溅射制膜,再在真空度≤0.1Pa的真空环境中退火热处理制成,表达式为ZnO:Bi,各组分原料用量重量比为ZnO 95-99%,Bi2O31-5%。这种光电薄膜具有良好的光电性能,电阻率达9.0×10-4Ω·cm,可见光透过率达85%以上,在波长小于370nm的紫外波段透过率表现为截止状态,具有良好的紫外隐身效果,同时所采的原料纯度低,且工艺简单、成本较低。
公开/授权文献
- CN101280414A ZnO:Bi光电薄膜及其制备方法 公开/授权日:2008-10-08
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