Invention Publication

带传感器的连接部件
Abstract:
本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件,该连接部件能够抑制零件数量的增加,并且,可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有:形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41),和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0