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公开(公告)号：CN103732962A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280028298.6
申请日：2012-05-31
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： F16K15/026 , F16K15/025 , F16K17/0466 , F16K25/005 , Y10T137/7924
摘要： 本发明提供一种止回阀，提高耐热性并且解决了伴随高温使用而导致“栓体向密封构件的粘附”的技术课题，由此在高温条件下也能够使用。通过使被弹压构件（7）弹压的栓体（5）与密封构件（4）抵接而使设置在第1阀体（2）上的流体通路（2a）的开口成为关闭状态。密封构件（4）为进行了二次硫化的全氟橡胶制密封垫。在栓体（5）上形成有与密封构件（4）线接触的环状的密封部（6）。
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公开(公告)号：CN104737086B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201380057366.6
申请日：2013-10-18
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： G05D7/00 , F15B13/044 , F16K27/003 , G05D7/0652 , G05D7/0682 , Y10T137/87249 , Y10T137/87885
摘要： 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
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公开(公告)号：CN100467927C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200580031067.0
申请日：2005-08-26
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： F16K27/003 , Y10T137/85938 , Y10T137/87885
摘要： 本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件，该连接部件能够抑制零件数量的增加，并且，可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有：形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41)，和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
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公开(公告)号：CN101018970A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200580031067.0
申请日：2005-08-26
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： F16K27/003 , Y10T137/85938 , Y10T137/87885
摘要： 本发明提供一种集成化流体控制装置的连接部件，该连接部件能够抑制零件数量的增加，并且，可进一步实现集成化流体控制装置的小型化。带传感器的连接部件(10)具有：形成连接相邻的流体控制仪器(16、20)的下端开口之间的V字形通路(41a)的通路块(41)，和设置在通路块(41)侧面的压力传感器(42)。在通路块(41)上形成从V字形通路(41a)分支并通向压力传感器(42)的分支通路(41b)。
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公开(公告)号：CN1114847C
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：CN99801434.6
申请日：1999-08-09
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： 对于使用孔板的流量控制装置，可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞，可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是，在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC＝KP1(K：常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中，其堵塞检测装置由：储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M，在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14，对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU，以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
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公开(公告)号：CN111448035A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201880079395.5
申请日：2018-12-03
申请人： 日本肯耐克科技株式会社 , 株式会社富士金
IPC分类号： B25B23/14 , G05B19/418
摘要： 提供一种带扭矩传感器的工具，该带扭矩传感器的工具适于在组装中需要大量的紧固接合部件、且可供接近紧固接合部件的空间狭小的流体控制装置那样的装置中的紧固接合部件的紧固作业，并且该工具的紧固扭矩的检测被自动化。工具(1)具备能够检测作用于批头(20)的、对紧固接合部件进行紧固的紧固扭矩的扭矩传感器(30)，扭矩传感器(30)当所检测的紧固扭矩超过设定阈值(Th)时开始进行紧固扭矩的测定，当所检测的紧固扭矩下降为低于设定阈值(Th)、且经过了设定时间(T1)时结束测定，并输出基于从测定开始起到测定结束为止的期间的测定数据而形成且包含测定时刻的扭矩关联数据。扭矩关联数据包含测定数据中的峰值。
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公开(公告)号：CN102483173B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201080038633.1
申请日：2010-08-24
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： F16K27/00 , F16K27/02 , F16K31/122
CPC分类号： F16K31/122 , F16K7/14 , F16K27/0263
摘要： 本发明提供一种提高了部件更换以及分解清洗等的维护性的流体控制器。具有：阀体组件(2)，是包括多个部件的组装体，包括两个阀芯以及保持阀芯的阀体(11)；执行器组件(3)，是包括多个部件的组装体，包括两个活塞以及通过与活塞一体地上下移动而开闭各阀芯的两个阀杆(33、34)，分别预先组装的阀体组件(2)和执行器组件(3)通过组件彼此结合用螺纹机构(4)以能够分解的方式结合。
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公开(公告)号：CN102341760B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200980157836.X
申请日：2009-11-06
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
摘要： 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
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公开(公告)号：CN101627241A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200880006829.5
申请日：2008-01-15
申请人： 株式会社富士金
发明人： 小艾睦典
CPC分类号： F16K17/0453 , F16F7/112 , F16F7/116 , F16F9/341 , F16K17/085 , Y10T137/7793 , Y10T137/7821
摘要： 本发明提供一种不影响压力控制动作的、提高了防振性的流体控制器。由于作用于隔膜(10)上的流体压力与基于压力设定弹簧(13)的弹性力的平衡的变化，阀体(4)相对于阀座(3)移动，从而控制流体的压力。在与隔膜(10)成为一体地移动的圆盘状可动部件(12)上配置有防振部件(17)，防振部件(17)的壳体中内置有被夹设在弹性体之间的配重。
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公开(公告)号：CN1692244A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200380100714.X
申请日：2003-10-31
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： F16K27/00
CPC分类号： F16K27/003
摘要： 本发明提供一种流体控制装置。其主体(2)由中央通道部件(11)、和侧通道部件(12)(13)构成。各开闭阀(5)(6)横跨中央通道部件和一侧的侧通道部件而可以装卸地安装。在中央通道部件上，仅与辅助气体入口(23)相同数目地设有由1条公共通道(22a)和(2)条支路(22b)(22c)构成的Y字通道(22)。Y字通道(22)的公共通道(22a)的开口被作为辅助气体入口(23)，并且使Y字形通道(22)的各支路(22b)(22c)分别通向各开闭阀(5)(6)的入口端口，通过这种方式形成了次气体流入通道。主气体通道(18)和主通道侧连通道(19)形成于一侧通道部件(12)内，排气气体通道(20)和排气气体通道侧连通道(21)形成于另一侧的侧通道部件(13)内。
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