半导体元件及其制作方法
摘要:
本发明是关于一种半导体元件及其制作方法,该方法包括下列步骤。提供一透光基板;形成一遮光层于透光基板上,形成一第一缓冲层于遮光层上;形成一半导体层于第一缓冲层上;图案化遮光层、第一缓冲层与半导体层,以形成一图案化叠层;在半导体层中形成一通道区与位于通道区两侧的一源极/漏极区;形成一栅绝缘层于透光基板上,以覆盖图案化叠层;形成一栅极于通道区上方的栅绝缘层上。本发明的半导体元件通过遮光层来阻挡非必要光线,以有效降低非必要的外界光线或非必要的底部背光源对半导体元件的干扰。此遮光层的制作与现有制造工艺兼容,制作方式简单且不需额外增加掩膜制造工艺,可提高生产良品率并降低制作成本。
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