Invention Publication
CN101026137A 半导体散热衬底及其生产方法和组件
失效 - 权利终止
- Patent Title: 半导体散热衬底及其生产方法和组件
- Patent Title (English): Semiconductor heat-dissipating substrate, and manufacturing method and assembly therefor
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Application No.: CN200710091457.8Application Date: 2002-08-23
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Publication No.: CN101026137APublication Date: 2007-08-29
- Inventor: 高岛浩一 , 山形伸一 , 安部诱岳 , 笹目彰
- Applicant: 住友电气工业株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 住友电气工业株式会社
- Current Assignee: 住友电气工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 陈长会
- Priority: 2001-263043 2001.08.31 JP; 2002-199128 2002.07.08 JP
- The original application number of the division: 028029720
- Main IPC: H01L23/373
- IPC: H01L23/373 ; H01L21/48

Abstract:
一种半导体散热衬底,其是用铜-钨合金制成的,该合金是其孔内渗入铜的钨多孔体,累积比表面积为95%时的钨多孔体的孔径是0.3μm或更大,比表面积为5%时的钨多孔体的孔径是30μm或更小,通过将铁族金属含量降至低于0.02wt%可使其导热系数为210W/m·K或更大。同样,利用多轴压力机改变渗入模制品中的铜量以改变中心部分和外缘部分中的孔隙量,可以在不使用粘结剂的条件下低成本地提供用不同材料制成中心部分和外缘部分的半导体散热衬底。
Public/Granted literature
- CN100524709C 半导体散热衬底及其生产方法和组件 Public/Granted day:2009-08-05
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IPC分类: