半导体散热衬底及其生产方法和组件

    公开(公告)号:CN100524709C

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200710091457.8

    申请日:2002-08-23

    Abstract: 一种半导体散热衬底,其是用铜-钨合金制成的,该合金是其孔内渗入铜的钨多孔体,累积比表面积为95%时的钨多孔体的孔径是0.3μm或更大,比表面积为5%时的钨多孔体的孔径是30μm或更小,通过将铁族金属含量降至低于0.02wt%可使其导热系数为210W/m.K或更大。同样,利用多轴压力机改变渗入模制品中的铜量以改变中心部分和外缘部分中的孔隙量,可以在不使用粘结剂的条件下低成本地提供用不同材料制成中心部分和外缘部分的半导体散热衬底。

    半导体散热衬底及其生产方法和组件

    公开(公告)号:CN101026137A

    公开(公告)日:2007-08-29

    申请号:CN200710091457.8

    申请日:2002-08-23

    Abstract: 一种半导体散热衬底,其是用铜-钨合金制成的,该合金是其孔内渗入铜的钨多孔体,累积比表面积为95%时的钨多孔体的孔径是0.3μm或更大,比表面积为5%时的钨多孔体的孔径是30μm或更小,通过将铁族金属含量降至低于0.02wt%可使其导热系数为210W/m·K或更大。同样,利用多轴压力机改变渗入模制品中的铜量以改变中心部分和外缘部分中的孔隙量,可以在不使用粘结剂的条件下低成本地提供用不同材料制成中心部分和外缘部分的半导体散热衬底。

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