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发明公开
CN101046374A 基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法 无效 - 撤回

  • 专利标题： 基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法
  • 专利标题（英）： Non-destructive measurement method of nanometer cantilever thickness based on force curve of atomic force microscope
  • 申请号： CN200710057125.8
    申请日： 2007-04-11
  • 公开(公告)号： CN101046374A
    公开(公告)日： 2007-10-03
  • 发明人: 栗大超 , 徐临燕 , 傅星 , 胡小唐
  • 申请人： 天津大学
  • 申请人地址： 天津市南开区卫津路92号
  • 专利权人： 天津大学
  • 当前专利权人： 天津大学
  • 当前专利权人地址： 天津市南开区卫津路92号
  • 代理机构： 天津市北洋有限责任专利代理事务所
  • 代理商 江镇华
  • 主分类号： G01B21/08
  • IPC分类号： G01B21/08 ;  B81C5/00
基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法
摘要：
一种基于原子力显微镜力曲线的纳米梁厚度的非破坏测量方法，先通过扫描测量获取纳米梁区域的三维形貌信息，得到纳米梁上表面与基底之间的距离；再缩小扫描范围，将原子力显微镜探针精确定位在双端固支纳米梁的表面几何中心或纳米悬臂梁上表面的端部的位置上，并利用原子力显微镜探针进行垂直加载/卸载，直至纳米梁下表面与基底发生接触，即力曲线中出现转折，在加载/卸载过程中实时记录原子力显微镜的力曲线，获得纳米梁下表面与衬底之间的距离；将上述两个步骤获得的数据相减，计算出纳米梁的厚度。本发明能够实现纳米梁等一大类具有悬浮间隙的纳米结构厚度的非破坏精密测量，该方法还可实现这类纳米结构悬浮间隙高度的非破坏精密测量。
摘要（英）：

The non-destructive measurement method of nanometer cantilever thickness based on force curve of atomic force microscope includes the first scanning measurement to obtain the 3D topographic information of the nanometer cantilever area and the distance between the upper surface and the base of the nanometer cantilever; the subsequent reducing the scanning range to locate the probe of the atomic force microscope precisely and to load and unload vertically with the probe until the lower surface of the nanometer cantilever contacts with the base and the force curve exhibits turnover, and recording the real-time force curve of the atomic force microscope during loading and unloading to obtain the distance between the lower surface and the substrate of the nanometer cantilever; and finally subtracting the data obtained in the foregoing steps to calculate the nanometer cantilever thickness. The said method may be also used in measuring other dimensions of nanometer structure.

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