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公开(公告)号：CN111336932B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201811553173.0
申请日：2018-12-18
申请人： 天津大学
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 一种测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法，该系统包括光源模块、分束器、测量光路、参考光路、单色成像模块和数据处理模块；光源模块输出非偏振复色平行光束，经分束器形成两束照明光束；一照明光束进入测量光路，汇聚入射至待测样品；待测样品表面的反射光束通过测量光路和分束器，由单色成像模块进行第一光学显微图像采集；另一照明光束进入参考光路，汇聚入射至参考样品；参考样品的反射光束经由参考光路和分束器，由单色成像模块进行第二光学显微图像采集；数据处理模块对不同波长对应的第一、第二光学显微图像进行处理得到差分反射显微光谱。本发明实现对光强漂移的实时测量，基于差分光学测量，有效抑制共模误差。
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公开(公告)号：CN112504456A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011292390.6
申请日：2020-11-18
申请人： 天津大学
摘要： 本发明涉及一种微区域光谱测量系统，包括光源模块、分束器、测量光路、参考光路、光谱接收模块，其中：光源模块，用于将复色光源产生的非偏振光束准直输出；分束器，用于将光源模块的输出平行光束分为测量光束和参考光束，分别进入测量光路和参考光路；测量光路，用于将测量光束汇聚至待测样品表面形成微小区域光斑构成临界照明，并使得经由待测样品反射的反射光束通过测量光路物镜返回，该光束经过分束器后进入光谱接收模块；光谱接收模块，用于进行待测样品和参考样品的反射光差分光谱的采集。本发明同时给出利用此种测量系统实现的微区域差分反射光谱的测量方法。
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公开(公告)号：CN107192854B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201710255058.4
申请日：2017-04-18
申请人： 天津大学
摘要： 原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器，装置有Z扫描器和连接在Z扫描器下面的探针装置，Z扫描器有由下至上依次设置的环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁，环形铁片、环形压电陶瓷片和环形磁铁同轴设置，内周共同构成通光孔；探针装置有用于与环形铁片通过磁力相连的探针夹持结构，嵌入在探针夹持结构上的悬臂梁探针和通过螺丝将悬臂梁探针固定在探针夹持结构上的弹簧压片。探针装置的探针装置安装器有安装器主体的一端形成有矩形开口，矩形开口的两侧和底部分布的形成有用于通过沉头螺钉连接探针装置的沉头螺纹孔，安装器主体远离矩形开口部分，形成有用于连接外部装置的沉头通孔。本发明能够适用于各种功效和多种扫描方式的原子力显微镜。
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公开(公告)号：CN111928943A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010837882.2
申请日：2020-08-19
申请人： 天津大学
摘要： 本发明一种单体高深宽比微孔深度的光谱测量系统与方法，包括光源模块(100)、光束分束模块(200)、样品测量模块(300)、微光斑调控模块(400)、光谱采集模块(500)和图像采集模块(600)；利用微光斑调控方法实现针对单体微孔的光谱测量，利用大视场与微光斑照明的叠加光强图像定位待测单体微孔；通过调整微光斑面积以匹配不同直径的微孔。与现有技术相比，本发明的光学系统中没有滤光片等损失光波长信息的光学元器件，保证了测量光谱的波长范围；光源由光纤耦合，降低光源散热对光学系统稳定性的影响；光纤光谱仪提高了互换性，便于匹配不同结构深度的测量需求。
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公开(公告)号：CN110262045B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201910528363.5
申请日：2019-06-18
申请人： 天津大学
摘要： 本发明涉及一种无衍射二维光学晶格周期快速连续调节方法，在生成二维光学晶格的光路上沿光轴依次增设变焦镜头和透镜。所述的变焦镜头，其后焦平面的位置在调焦时保持不变，变焦镜头与透镜之间的距离为变焦镜头的后焦距与透镜前焦距之和；通过对变焦镜头焦距的调节，实现扩束系统放大倍数的连续改变，从而能够实现无衍射二维光学晶格周期的快速连续调节。
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公开(公告)号：CN108398386B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201810151148.3
申请日：2018-02-13
申请人： 天津大学
IPC分类号： G01N21/21
摘要： 本公开提供一种面内各向异性晶体材料晶轴定向方法及设备，包括：步骤A：在被测晶体的被测表面上设置基准方位线；步骤B：利用偏振光照射被测晶体的被测表面并接收反射光；步骤C：改变偏振光的偏振角度，利用不同偏振角度下的反射光强度计算不同偏振角度下的反射差分信号强度；步骤D：利用曲线对不同偏振角度下的反射差分信号强度进行拟合；以及步骤E：根据拟合曲线得出晶轴方向与基准方位线之间的夹角。本公开提供的面内各向异性晶体晶轴定向方法及设备将光学反射差分技术用于晶轴方向的确定，能够有效缓解现有技术中的晶轴定向方法测试流程复杂，精度低，使用条件严格的技术问题。
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公开(公告)号：CN111336932A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201811553173.0
申请日：2018-12-18
申请人： 天津大学
IPC分类号： G01B11/06
摘要： 一种测量纳米薄膜厚度的显微式差分反射光谱测量系统及方法，该系统包括光源模块、分束器、测量光路、参考光路、单色成像模块和数据处理模块；光源模块输出非偏振复色平行光束，经分束器形成两束照明光束；一照明光束进入测量光路，汇聚入射至待测样品；待测样品表面的反射光束通过测量光路和分束器，由单色成像模块进行第一光学显微图像采集；另一照明光束进入参考光路，汇聚入射至参考样品；参考样品的反射光束经由参考光路和分束器，由单色成像模块进行第二光学显微图像采集；数据处理模块对不同波长对应的第一、第二光学显微图像进行处理得到差分反射显微光谱。本发明实现对光强漂移的实时测量，基于差分光学测量，有效抑制共模误差。
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公开(公告)号：CN108818157A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810635784.3
申请日：2018-06-20
申请人： 天津大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 本发明涉及一种Nd:GGG晶体平面光学元件高效低损伤加工方法，包括：1)将Nd:GGG晶体固定在模具上，使用规格为W40的金刚砂固结磨料对晶体进行粗磨；2)更换磨料为W20的金刚砂，对前一道工序的晶体继续研磨；3)使用沥青盘作为抛光盘，修整沥青盘面型和粗糙度后，使用W2.5的刚玉作为磨料对晶体进行粗抛至去除研磨阶段产生的凹坑；4)更换抛光垫和磨料分别为聚酯胺抛光垫、W0.5金刚石微粉，在前一道工序的基础上继续抛光；5)使用粒径在50-70nm的二氧化硅抛光液在绒布抛光垫下抛光，此过程中抛光盘转速不变，载荷维持稳定。
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公开(公告)号：CN108303038A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201711401454.X
申请日：2017-12-21
申请人： 天津大学
摘要： 一种基于二维光学点阵的反射型面形测量方法和装置，该方法利用经空间光调制器调制以及两次透镜傅里叶变换的出射光分别在反射型被测面和参考平面上形成光学点阵，被测面上的光学点阵受被测面面形调制后相对于参考平面发生偏移，根据该偏移量结合基于Zernike多项式的模式重构算法重构出被测面的面形。并进一步提供了实现该方法的测量装置以及该方法在测量物体变形的应用。本公开简化了测量过程，实现了快速测量。
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