发明公开
- 专利标题: 铝膜电极缺陷的检测、断线修补方法及检测装置
- 专利标题(英): Method for detecting and broken line repairing aluminum film electrode fault and detector
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申请号: CN200710021292.7申请日: 2007-04-26
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公开(公告)号: CN101051591A公开(公告)日: 2007-10-10
- 发明人: 李青 , 张雄 , 朱立锋 , 王保平 , 林青园
- 申请人: 南京华显高科有限公司
- 申请人地址: 江苏省南京市高新开发区商务办公楼413室
- 专利权人: 南京华显高科有限公司
- 当前专利权人: 南京熊猫电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市高新开发区商务办公楼413室
- 代理机构: 南京天华专利代理有限责任公司
- 代理商 夏平; 瞿网兰
- 主分类号: H01J9/42
- IPC分类号: H01J9/42 ; H01J9/02 ; G01R31/02 ; G01N21/956
摘要:
本发明针对采用Al膜电极结构的等离子体显示板,在制程中产出的Al膜电极的连线缺陷、断线缺陷提出一种快速、可靠的检测方法及其装置,即结合掩模板正负片,利用缺陷出光强透过率的比对,通过控制系统对缺陷信息加以确认、定位、保存及与激光修补机间的传输。本发明针对Al膜电极断线缺陷修补后经过高温处理再次断开的问题,提出修补点经过预烧后与后续制备的介质层共同烧结的方法,有效的修补Al膜电极的断线缺陷。
公开/授权文献
- CN100555520C 铝膜电极缺陷的检测、断线修补方法及检测装置 公开/授权日:2009-10-28