铝膜电极缺陷的检测、断线修补方法及检测装置
摘要:
本发明针对采用Al膜电极结构的等离子体显示板,在制程中产出的Al膜电极的连线缺陷、断线缺陷提出一种快速、可靠的检测方法及其装置,即结合掩模板正负片,利用缺陷出光强透过率的比对,通过控制系统对缺陷信息加以确认、定位、保存及与激光修补机间的传输。本发明针对Al膜电极断线缺陷修补后经过高温处理再次断开的问题,提出修补点经过预烧后与后续制备的介质层共同烧结的方法,有效的修补Al膜电极的断线缺陷。
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