发明公开
CN101065520A 导电表面的膜限制性选择电镀
无效 - 撤回
- 专利标题: 导电表面的膜限制性选择电镀
- 专利标题(英): Membrane-limited selective electroplating of a conductive surface
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申请号: CN200580040843.3申请日: 2005-11-11
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公开(公告)号: CN101065520A公开(公告)日: 2007-10-31
- 发明人: S·马祖尔
- 申请人: 纳幕尔杜邦公司
- 申请人地址: 美国特拉华州
- 专利权人: 纳幕尔杜邦公司
- 当前专利权人: 纳幕尔杜邦公司
- 当前专利权人地址: 美国特拉华州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 段晓玲; 韦欣华
- 优先权: 60/631,583 2004.11.30 US
- 国际申请: PCT/US2005/043387 2005.11.11
- 国际公布: WO2006/060520 EN 2006.06.08
- 进入国家日期: 2007-05-29
- 主分类号: C25D7/12
- IPC分类号: C25D7/12 ; H05K3/42 ; H01L21/288 ; H01L21/768
摘要:
本发明涉及在导电表面上的凹进形貌学特征上选择性电镀一层或多层金属层的方法和装置。本发明的方法和装置用于制造金属电路图,例如在集成电路元件之间产生铜互连,所述集成电路元件嵌入在半导体晶片表面上的绝缘材料薄层中。