Sb-Te系合金烧结体靶及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种Sb-Te系合金烧结体靶,是使用由Sb-Te系合金的大致球状的粒子构成的喷雾粉的溅射靶,其特征在于,所述球状的喷雾粉由被压成扁平的粒子构成,扁平粒子的短轴和长轴之比(扁平率)为0.6以下的粒子占全体的50%以上。所述Sb-Te系合金烧结体靶,其特征在于,长轴方向相对于与靶表面平行的方向成±45°以内而整齐的粒子占全体的60%以上。所述Sb-Te系合金烧结体靶,其特征在于,靶中的氧浓度为1500wtppm以下。本发明实现了Sb-Te系合金溅射靶组织的均匀和微细化,抑制烧结靶的裂纹的发生,在溅射时防止电弧放电的发生。另外,本发明减少了由于溅射腐蚀所产生的表面凹凸,得到了品质良好的Sb-Te系合金溅射靶。
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