发明公开
- 专利标题: 大尺度氧化锌二维周期半球壳点阵的制备方法
- 专利标题(英): Method of manufacturing two-dimension periodic semi-sphere shell dot matrix of large scale zinc oxide
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申请号: CN200710024813.4申请日: 2007-07-02
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公开(公告)号: CN101109070A公开(公告)日: 2008-01-23
- 发明人: 高远 , 李爱东 , 顾正彬 , 陈延峰
- 申请人: 南京大学
- 申请人地址: 江苏省南京市汉口路22号南京大学材料科学与工程系
- 专利权人: 南京大学
- 当前专利权人: 南京大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市汉口路22号南京大学材料科学与工程系
- 代理机构: 南京苏高专利事务所
- 代理商 陈扬
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/08 ; C23C14/54 ; C23C14/58
摘要:
本发明公开了一种大尺度氧化锌二维周期半球壳点阵的制备方法,它包括以下步骤:制备蛋白石结构模板;采用垂直沉积方法或者提拉法在衬底材料上生长组装材料,获得多层或者单层的胶体晶体,得到蛋白石模板;采用RF高真空磁控溅射装置,将制得的蛋白石模板固定在样品托上,靶材为氧化锌;调节样品托架位置使模板与氧化锌靶的距离符合要求;选择合适的生长条件,得到大尺度氧化锌的不同厚度的二维周期半球壳点阵。本发明制备方法简单,成本低,效率高,制备的球壳结构质量高,重复性好,在光栅、光催化和光致发光领域有重要的应用前景。