改进的电化学沉积工艺制备单一c轴取向氧化锌薄膜方法
摘要:
本发明涉及一种改进的电化学沉积工艺制备单一c轴取向ZnO薄膜方法,其特征在于采用电化学预处理过程与恒电流沉积相结合的方法,在经预处理的衬底表面形成一晶柱尺寸小的ZnO籽晶层,使后续沉积ZnO薄膜具有单一c轴生长特性。具体包括电沉积前驱液的制备、衬底清洗处理以及薄膜生长三大步,最后薄膜生长采用电化学沉积系统。所制备的ZnO膜层具有单一c轴取向,结晶程度高,而且在可见光区具有很高的透过率,可用作薄膜太阳电池的窗口层、以及压电、光电、气敏等多种领域。本方法成本低廉,无需真空环境或使用有机物和高温加热设备,适合于大面积、规模化薄膜材料制备。
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