发明授权
- 专利标题: 用于提高横向载流能力的半导体器件及方法
- 专利标题(英): Semiconductor device and method for improving horizontal carrier capability
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申请号: CN200710139143.0申请日: 2007-07-26
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公开(公告)号: CN101114632B公开(公告)日: 2010-06-16
- 发明人: 何忠祥 , 刘奇志 , K·M·沃森 , N·B·菲尔彻费尔德 , 王平川 , B·雷尼
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 格芯美国第二有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 于静; 刘瑞东
- 优先权: 11/460,314 2006.07.27 US
- 主分类号: H01L23/522
- IPC分类号: H01L23/522 ; H01L21/768
摘要:
一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括(a)衬底;(b)在所述衬底上的第一半导体器件;(c)在所述第一半导体器件上的N ILD(级间介质)层,其中N是大于1的整数;以及(d)与所述第一半导体器件电连接的导电线。所述导电线适于负载在平行于N ILD层的两个连续ILD层之间的界面表面的横向方向上的横向电流。所述导电线存在于N ILD层的至少两个ILD层中。所述导电线不包括适于负载在垂直于所述界面表面的垂直方向上的垂直电流的导电过孔。
公开/授权文献
- CN101114632A 用于提高横向载流能力的半导体器件及方法 公开/授权日:2008-01-30
IPC分类: